--激光器系統(tǒng)
l 激光類型:半導(dǎo)體端面泵浦激光器 / 光纖激光器
l 激光波長:1064/532/355nm
l 激光平均功率:10W / 20W / 7W(UV355)
l 激光頻率:200Hz-50KHz
l 典型光斑尺寸�30µm
�(shí)際切口取決于材料、光�(xué)器件和波�;可根據(jù)需要選�532綠激光或355紫外激光最小光斑達(dá)12µm
l 泵浦源使用壽命:20,000�100�000小時(shí)
l 冷卻方式:風(fēng)�
l 對焦方式:計(jì)算機(jī)程序控制
--激光束定位系統(tǒng)
l 激光束�(yùn)�(dòng)范圍�75mmX75mm(可選配其他�(guī)格)
l �(diǎn)到點(diǎn)�(yùn)�(dòng)�(shí)間:5ms(典型)
l 速度�7000mm/s
l 重復(fù)定位精度�2.5µm
l 激光束最小步�(jìn)�0.76µm
--圖像�(jiān)視系�(tǒng)
l �(jiān)視方式:激光同軸監(jiān)�
l 放大倍數(shù)�>100�
l 圖像�(jiān)視顯示屏�19寸液�
--測量系統(tǒng)
l 激�(lì)方式:電�/電壓激�(lì)
l 恒流源:0.01µA~100mA�(jì)算機(jī)程控選擇
l 恒壓源:0~20V�(jì)算機(jī)程控選擇(可選其它電壓范圍)
l 電阻測量方式:四線制加電流測電壓
l 直流電壓測量�10mV~10V(滿程電壓)
l �(diào)節(jié)對象�(fā)熱控制:程序可設(shè)�
l 電阻測量精度:低阻:<0.05%+1%/R (R<100Ω�
中阻�<0.05%
高阻�<0.05%+0.02%R(R>0.1MΩ�
l 電阻測量范圍�0.01Ω-500MΩ
l 電阻測量速度�25µs
l 直流電壓分辨率:0.16µV(在10mV滿量程條件下�
l 探針板:44�11組四線制(可選其它規(guī)格)
l 探針板運(yùn)�(dòng):計(jì)算機(jī)程序控制
--�(jì)算機(jī)及軟件系�(tǒng)
l 工業(yè)控制�(jì)算機(jī)(雙核)�17寸液�
l 操作系統(tǒng):Windows XP
l VB平臺開發(fā)的可視化�(yīng)用軟�,界面友�,功能強(qiáng)�
--分步重復(fù)�(yùn)�(dòng)系統(tǒng)
l �(yùn)�(dòng)XY范圍�290x260mm
l �(yùn)�(dòng)分辨率:1µm
l 定位精度:小�6µm(帶誤差�(bǔ)償)
l 重復(fù)定位精度:小�3µm
l �(yùn)�(dòng)速度�900mm/s
l 具有溫度�(bǔ)�?shù)裙�?/DIV>
--非接觸溫度測�
l 溫度測量精度�0.2�
l �(diào)阻溫度修正:�(jì)算機(jī)程序控制
--其它技�(shù)指標(biāo)
l 供電電壓�220V AC
l 整機(jī)功耗:小于1000W