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激光調(diào)阻機(jī)
閱讀�4153�(shí)間:2016-12-27 10:02:33

激光調(diào)阻原理就是利用一束極�(xì)的激光束打在�、薄�電阻�,通過對電阻體氣化蒸發(fā)�(shí)�(xiàn)�、薄膜電路的切割。激光束按計(jì)算機(jī)�(yù)定的程序切割��薄膜電阻,通過改變�、薄膜電�的幾何形狀從而改變電阻的阻�。隨著激光切割過程的�(jìn)�,同�(shí)�(shí)�(shí)測量電路�(shí)�(shí)�(jiān)視厚、薄膜電阻阻值的變化,厚、薄膜電阻的阻值不斷接近目�(biāo)阻�,當(dāng)�、薄膜電阻達(dá)到目�(biāo)阻值后激光束�(guān)閉,即實(shí)�(xiàn)激光調(diào)阻過��

�(chǎn)品特�(diǎn)

--�(diào)阻精度高

l 先�(jìn)的激光器提供了TEM00高光束質(zhì)量和極細(xì)線寬的激光束
l 四線制高速測量系�(tǒng),測量時(shí)間僅�25us
l 擁有軟件�(yù)�(diào)誤差�(bǔ)償功�

--�(diào)阻速度�

l 先�(jìn)的激光器擁有極高的重�(fù)頻率,在保證光斑重疊率的情況下能擁有很高速度
l 德國�(jìn)口掃描振鏡,掃描速度極快
l 高精度分步重�(fù)�(jī)�(gòu),空氣軸�,移�(dòng)速度及加速度�

--可靠性高

l 整機(jī)配置核心器件均采用原裝�(jìn)口配�
l 采用花崗巖臺�,穩(wěn)定可�

--功能�(qiáng)�

l 擁有溫度�(shí)�(shí)�(bǔ)償功�
l 同時(shí)具有激光劃片和打標(biāo)功能

--�(yùn)行及維護(hù)成本低廉

l 采用半導(dǎo)體端面泵浦或光纖激光器
l 使用壽命�,性能�(wěn)�
l 電光�(zhuǎn)換效率高,節(jié)約用電成�
l 采用�(fēng)冷系�(tǒng),無須外置冷卻設(shè)�
l 操作簡單,無須高額培�(xùn)成本

技�(shù)參數(shù)

--激光器系統(tǒng)

l 激光類型:半導(dǎo)體端面泵浦激光器 / 光纖激光器
l 激光波長:1064/532/355nm
l 激光平均功率:10W / 20W / 7W(UV355)
l 激光頻率:200Hz-50KHz
l 典型光斑尺寸�30µm
�(shí)際切口取決于材料、光�(xué)器件和波�;可根據(jù)需要選�532綠激光或355紫外激光最小光斑達(dá)12µm
l 泵浦源使用壽命:20,000�100�000小時(shí)
l 冷卻方式:風(fēng)�
l 對焦方式:計(jì)算機(jī)程序控制

--激光束定位系統(tǒng)

l 激光束�(yùn)�(dòng)范圍�75mmX75mm(可選配其他�(guī)格)
l �(diǎn)到點(diǎn)�(yùn)�(dòng)�(shí)間:5ms(典型)
l 速度�7000mm/s
l 重復(fù)定位精度�2.5µm
l 激光束最小步�(jìn)�0.76µm

--圖像�(jiān)視系�(tǒng)

l �(jiān)視方式:激光同軸監(jiān)�
l 放大倍數(shù)�>100�
l 圖像�(jiān)視顯示屏�19寸液�

--測量系統(tǒng)

l 激�(lì)方式:電�/電壓激�(lì)
l 恒流源:0.01µA~100mA�(jì)算機(jī)程控選擇
l 恒壓源:0~20V�(jì)算機(jī)程控選擇(可選其它電壓范圍)
l 電阻測量方式:四線制加電流測電壓
l 直流電壓測量�10mV~10V(滿程電壓)
l �(diào)節(jié)對象�(fā)熱控制:程序可設(shè)�
l 電阻測量精度:低阻:<0.05%+1%/R (R<100Ω�
中阻�<0.05%
高阻�<0.05%+0.02%R(R>0.1MΩ�
l 電阻測量范圍�0.01Ω-500MΩ
l 電阻測量速度�25&micro;s
l 直流電壓分辨率:0.16&micro;V(在10mV滿量程條件下�
l 探針板:44�11組四線制(可選其它規(guī)格)
l 探針板運(yùn)�(dòng):計(jì)算機(jī)程序控制

--�(jì)算機(jī)及軟件系�(tǒng)

l 工業(yè)控制�(jì)算機(jī)(雙核)�17寸液�
l 操作系統(tǒng):Windows XP
l VB平臺開發(fā)的可視化�(yīng)用軟�,界面友�,功能強(qiáng)�

--分步重復(fù)�(yùn)�(dòng)系統(tǒng)

l �(yùn)�(dòng)XY范圍�290x260mm
l �(yùn)�(dòng)分辨率:1&micro;m
l 定位精度:小�6&micro;m(帶誤差�(bǔ)償)
l 重復(fù)定位精度:小�3&micro;m
l �(yùn)�(dòng)速度�900mm/s
l 具有溫度�(bǔ)�?shù)裙�?/DIV>

--非接觸溫度測�

l 溫度測量精度�0.2�
l �(diào)阻溫度修正:�(jì)算機(jī)程序控制

--其它技�(shù)指標(biāo)

l 供電電壓�220V AC
l 整機(jī)功耗:小于1000W

�(yīng)用和市場

主要�(yīng)用于厚膜、薄膜電路的精密�(diào)節(jié)。廣泛應(yīng)用于
l 厚膜混合集成電路
l 電子元器�
l 汽車電器
l 傳感�
l 軍工科研
l 片式電阻等行�(yè)