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探針�(tái)
閱讀�5256�(shí)間:2017-01-16 10:08:58

探針�(tái)主要�(yīng)用于半導(dǎo)�行業(yè)、光電行�(yè)�集成電路以及封裝的測(cè)�� 廣泛�(yīng)用于�(fù)�、高速器件的精密電氣�(cè)量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠�,并縮減研發(fā)�(shí)間和器件制造工藝的成本�

�(jiǎn)�


探針�(tái)分類
探針�(tái)從操作上�(lái)區(qū)分有:手�(dòng),半自動(dòng),全自動(dòng)
從功能上�(lái)區(qū)分有:溫控探針臺(tái),真空探針臺(tái)(超低溫探針�(tái)),RF探針�(tái),LCD平板探針�(tái),霍爾效�(yīng)探針�(tái),表面電阻率探針�(tái)
�(jīng)�(jì)手動(dòng)�
根據(jù)客戶需求定�
chuck尺寸�4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可選�
X-Y移動(dòng)行程�4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可選�
chuck Z軸方向升�10mm(選�(xiàng))方便探針與樣品快速分�
顯微鏡:金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡(可選)
顯微鏡移�(dòng)方式:立柱環(huán)繞型、移�(dòng)平臺(tái)型、龍門�(jié)�(gòu)型(可選�
探針座:�0.7um�2um�10um精度可選,磁性吸附帶磁力開關(guān)
可搭配Probe card�(cè)�
適用�(lǐng)域:晶圓�、研究所、高校等
半自�(dòng)�
chuck尺寸800mm/600mm
X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程200mm/150mm
chuck粗調(diào)升降9mm,微�(diào)升降16mm
可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC�(shí)體顯微鏡
針座擺放�(gè)�(shù)6�8�
顯微鏡X-Y-Z移動(dòng)范圍2"x2"x2"
可搭配Probe card�(cè)�
適用�(lǐng)域:8�/6寸Wafer、IC�(cè)試之�(chǎn)�
電動(dòng)�
chuck尺寸1200mm,平坦度�1u(不銹鋼或鍍金)
X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程300mm x 300mm
chuck粗調(diào)升降9mm,微�(diào)升降16mm,微�(diào)精度�1u
可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC�(shí)體顯微鏡
針座擺放�(gè)�(shù)8�12�
顯微鏡X-Y-Z移動(dòng)范圍2“x2”x2�
材質(zhì):花崗巖�(tái)�+不銹�
可搭配Probe card�(cè)�
適用�(lǐng)域:12寸Wafer、IC�(cè)試之�(chǎn)�
LCD半自�(dòng)探針�(tái)
�(jī)械手臂取放片
電動(dòng)、鍵入坐�(biāo)尋位�
量測(cè)尺寸(mm):1800x1600�1300x1200�1200x1000
LCD手動(dòng)探針�(tái)
白熾燈或者LED整面背光
TFT元件特性、Driver IC量測(cè)分析
�(jī)�(tái)尺寸(mm):800x600�500x400�300x300
PCB量測(cè)探針�(tái)(TDR�
高頻�(cè)試探頭GSG / GS / SG
頻率10GHZ / 40GHZ / 50GHZ / 67GHZ
�(jī)�(tái)尺寸同LCD 探針�(tái)
太陽(yáng)能產(chǎn)�(yè)探針�(tái)(Solar Cell 量測(cè)系統(tǒng)�
量測(cè)軟體:
I-V /C-V Curve, Isc, Voc,
Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,
Power Convert Efficiency
采用KEITHLEY Source Meter
可加配任意品牌之太陽(yáng)光模擬器

自動(dòng)維護(hù)

探針�(cè)試臺(tái)x-y工作�(tái)的分�

縱觀�(guó)�(nèi)外的自動(dòng)探針�(cè)試臺(tái)在功能及組成上大同小�,即主要由x-y向工作臺(tái),可編程承片�(tái)、探�/探卡支架、打�(diǎn)�、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測(cè)試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作�(tái)�(jié)�(gòu)的不同可為兩大類,即:以美國(guó)EG公司為代表的平面電機(jī)型x-y工作�(tái)(又叫磁性氣浮工作臺(tái))自�(dòng)探針�(cè)試臺(tái)和以日本及歐洲國(guó)家生�(chǎn)的采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)�(gòu)的x-y工作�(tái)型自�(dòng)探針�(cè)試臺(tái)。由于x-y工作�(tái)的結(jié)�(gòu)差別很大,所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論,應(yīng)區(qū)別對(duì)��

x-y工作�(tái)的維�(hù)與保�(yǎng)

�(wú)論是全自�(dòng)探針�(cè)試臺(tái)還是自動(dòng)探針�(cè)試臺(tái),x-y向工作臺(tái)都是其最核心的部分。有�(shù)�(jù)表明探針�(cè)試臺(tái)的故障中有半�(shù)以上是x-y工作�(tái)的故�,而工作臺(tái)故障有許多是�(duì)其維�(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的,所以對(duì)工作�(tái)的維�(hù)與保�(yǎng)就顯得尤為重�。本文僅�(duì)自動(dòng)探針�(cè)試臺(tái)x-y工作�(tái)的維�(hù)與保�(yǎng)作一介紹�
2�1 平面電機(jī)x-y步�(jìn)工作�(tái)的維�(hù)與保�(yǎng)
平面電機(jī)由定子和�(dòng)子組�,它和傳�(tǒng)的步�(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開,定子是基礎(chǔ)平臺(tái)� �(dòng)子和定子間有一層氣�,動(dòng)子浮于氣墊上,而可編程承片�(tái)則安裝在�(dòng)子之�。這種�(jié)�(gòu)的x-y工作�(tái),由于動(dòng)子和定子間無(wú)相對(duì)摩擦故無(wú)磨損,使用壽命長(zhǎng)�
而定子在加工�(guò)程中生產(chǎn)廠家根據(jù)不同的設(shè)�(jì)要求如分辨力�,用�(jī)加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干�(gè)線槽,線槽間的距離即稱為平面電機(jī)的齒�,而定子則按不同的�(xì)分控制方�,按編制好的�(yùn)行程序借助于平面定子和�(dòng)子之間的氣墊才能�(shí)�(xiàn)步�(jìn)�(yùn)�(dòng)。對(duì)定子的損傷將直接影響工作�(tái)的步�(jìn)精度及設(shè)備使用壽�,損壞嚴(yán)重將造成�(shè)備無(wú)法使用而報(bào)��
由于平面電機(jī)的定子及�(dòng)子是完全暴露在空氣中,所以潮濕的�(huán)境及�(zhǎng)�(shí)期保�(yǎng)不當(dāng)將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)�,另外重物的碰撞及堅(jiān)銳器物的劃傷都將�(duì)定子造成損傷,而影響平面電�(jī)的步�(jìn)精度及使用壽�,對(duì)于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一�(gè)方向打磨定子的表�,然后用脫脂棉球蘸煤油清�,整�(gè)�(guò)程操作要十分地細(xì)心,不可使定子表面出�(xiàn)凹凸不平的現(xiàn)�。另外也可用�(méi)有腐蝕性,不損壞定子的除銹劑除�。對(duì)于正常情況下的定子則要定期作除塵清理工作,清理時(shí)�(yīng)先通入大氣以便�(dòng)子移�(dòng),方法是用脫脂棉蘸少許大�95%的無(wú)水乙�,輕擦定子表�,然后用專用工具撬起�(dòng)�,方法同前, 輕擦�(dòng)子表�,動(dòng)子的表面有若干�(gè)氣孔,它是定子和�(dòng)子間壓縮空氣的出孔,觀察這此氣孔的放氣是否均�,否則用工具小心旋開小孔中內(nèi)嵌氣孔螺母檢查是否有雜質(zhì)堵塞氣孔,處理完畢后�(yīng)恢復(fù)�(nèi)嵌氣孔螺母原始狀�(tài)。需要特別注意的是在未加壓縮空氣�(shí)不可�(qiáng)行拉�(dòng)�(dòng)�,以免造成定子及動(dòng)子的損傷。平面電�(jī)�(yīng)使用在環(huán)境溫�15�25 �,相�(duì)濕度小于50%的環(huán)境中,其所需的壓縮空氣必須經(jīng)�(guò)干燥�(guò)濾處理且與環(huán)境空氣溫度差值小�5 �,氣壓為0�4±0�04MPa�
2�2 滾珠絲杠副和�(dǎo)軌結(jié)�(gòu)x-y工作�(tái)的維�(hù)與保�(yǎng)
相對(duì)于平面電�(jī)工作�(tái),絲杠導(dǎo)軌結(jié)�(gòu)的工作臺(tái)�(jié)�(gòu)組成較復(fù)�,工作臺(tái)由上層(x向)及下層(y向)兩部分組�。工作臺(tái)由兩�(gè)步�(jìn)電機(jī)分別�(qū)�(dòng)x、y向精密滾珠絲杠副帶動(dòng)工作�(tái)�(yùn)�(dòng),導(dǎo)向部分采用精密直線滾�(dòng)�(dǎo)軌。由于運(yùn)�(dòng)部分全部采用滾動(dòng)功能部件,所以具有傳�(dòng)效率�、摩擦力矩小,使用壽命長(zhǎng)等特�(diǎn)。這種�(jié)�(gòu)的工作臺(tái)�(yīng)放置在溫�23±3 �,濕度≤70%,無(wú)有害氣體的環(huán)境中,滾珠絲�、直線導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油,但不可�(guò)�,值得指出的是,這種�(jié)�(gòu)的工作臺(tái)在裝配過(guò)程中,從直線�(dǎo)軌的直線�,上下層工作�(tái)之間的垂直度以及工作�(tái)的重�(fù)性,定位精度等都是用的儀器儀表調(diào)�,用戶一般情況不能輕易改�,一旦盲目調(diào)整后很難恢復(fù)到原�(lái)的狀�(tài),所以對(duì)需要調(diào)整的工作�(tái)�(yīng)有生�(chǎn)廠家或經(jīng)�(guò)培訓(xùn)的人員完��

高精�

目前世界出貨量的型號(hào)吸收了的工藝科技例如OTS,QPU和TTG相關(guān)技�(shù),這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設(shè)�(jì)及多種測(cè)試條件提供保��
特�1:OTS-最近的位置�(duì)正系�(tǒng)(光�(xué)目標(biāo)�(duì)�(zhǔn)�  OTS通過(guò)�(duì)照相�(jī)相對(duì)位置的測(cè)量來(lái)保證其位置的精度。這是非常引人注目的技�(shù),來(lái)源于東京精密的度量技�(shù)。OTS�(shí)�(xiàn)了以自己為參照的光學(xué)�(duì)�(zhǔn)系統(tǒng)�
特�2:QPU-高剛性的硅片承載�(tái)(四方型系統(tǒng)) 為了有效的達(dá)到接觸位置的精度,硅片承載臺(tái)各部分的剛性一致是非常重要�,UF3000使用新的4軸機(jī)械轉(zhuǎn)換裝置(QPU�,達(dá)到高剛性,高穩(wěn)定度的接��

特�3:裝載部�

令客戶滿意的�(cè)試環(huán)�,可以提供從前部開始的通常�8��12”及基本檢查單元。也為自�(dòng)物料輸送系�(tǒng)�(yīng)用做好了�(zhǔn)��

特�4:TTG(一�(diǎn)即到�

更加方便的操�,UF3000采用在顯示屏上點(diǎn)一�,相�(guān)的屏幕就�(huì)切換到新的位置顯示。相�(guān)的設(shè)定十分方�。屏幕的顯示模式也可以由客戶自行定義�

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