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沖擊加速度傳感�
閱讀�4406�(shí)間:2018-01-26 18:16:37

沖擊�速度傳感�,采�MEMS技�(shù)與微電子技�(shù)成果研制而成,集加速度傳感�、信�(hào)變換��電源變換�、信�(hào)濾波電路、飽和控制與溫度�(bǔ)償于一�,具有微體積、微功�、微噪聲、高集成、高�(wěn)定、高可靠、低溫漂、環(huán)境適�(yīng)性強(qiáng)等特�(diǎn)�

參數(shù)

  適用于量程達(dá)100000g 的沖擊加速度參數(shù)�(cè)量與控制�
  量程 ±100000g
  頻率響應(yīng) 0.1�10000Hz
  輸出信號(hào) 0.15 ±50mv�4800mv(可變) �(cè)量線性度、重�(fù)性及遲滯�
  均優(yōu)�1% 供電電壓 ±15±0.5V 功�

�(jié)�(gòu)

  沖擊加速度傳感器的�(jié)�(gòu)形式多,常見(jiàn)的有柱式、膜片式�(jié)�(gòu),圖中是我們采用的周邊圓支圓形�(guī)膜片�(jié)�(gòu),中心帶敏感�(zhì)量塊??拷鼒A膜片邊緣�(yīng)變的位置,用�(kuò)散參雜法沿徑�110和切�110晶向�(kuò)散四�(gè)阻值相等的電阻�,經(jīng)蒸渡鋁電極鏈�4�(gè)性能一致的電阻�(gòu)成惠斯頓電橋�

指標(biāo)

�(dòng)�(tài)特�
�(cè)量范圍(峰值)
±10,000g
靈敏�(25�) ±5%
0.5pC/g (160Hz)
頻率響應(yīng)(�1dB)
1-15,000Hz
安裝諧振頻率
�55,000Hz
橫向靈敏度比
�5%
電氣性能
絕緣電阻
>10 Ω
電容
�4PF
極�
�(huán)境特�
工作溫度
-54℃~+150�
溫度響應(yīng)
�(jiàn)附圖
物理特�
�(jié)�(gòu)形式
剪切
殼體材料
304不銹�
輸出方式
頂端M5
安裝方式
M6
壓電材料
石英
重量
�10�
附件
安裝螺栓
M6
電纜�
雙頭M5低噪聲屏蔽電�2�

傳感器的選擇

  靈敏度的選擇
  加速度傳感器產(chǎn)品介紹給出了參考量程范�,目的是讓用�(hù)在眾多不同靈敏度的加速度傳感器中能方便地選出合適的產(chǎn)�,最小加速度�(cè)量值也�(chēng)最小分辨率,考慮到后�(jí)放大電路噪聲�(wèn)�,應(yīng)盡量�(yuǎn)離最小可用�,以確保信噪��
  �(cè)量極限要考慮加速度傳感器自身的非線性影響和后續(xù)儀器的輸出電壓,估算方法:被測(cè)加速度×傳感器的電荷/電壓靈敏�,以上數(shù)值是否超�(guò)配套儀器的輸入電荷/電壓�,建議如已知被測(cè)加速度范圍可在傳感器指�(biāo)中的“參考量程范圍”中選擇(兼顧頻�、重量),同�(shí),在頻響、重量允許的情況�,靈敏度可考慮高些,以提高后續(xù)儀器輸入信�(hào),提高信噪比�
  頻率選擇
  生產(chǎn)廠給出的頻響曲線是用螺釘安裝的,一般將曲線分成二段:諧振頻率和使用頻率。使用頻率的給值是按靈敏度偏差給出,有±10%、�5%、�3dB。諧振頻率一般是避開(kāi)不用,但也有特例,如軸承故障檢測(cè)�
  選擇加速度傳感器的頻率�(yīng)高于被測(cè)物的振動(dòng)頻率,有倍頻分析要求的加速度傳感器頻響應(yīng)更高。土木工程是低頻,加速度傳感器可選擇0.2Hz�1kHz左右,機(jī)械設(shè)備一般是中頻�,可根據(jù)�(shè)備轉(zhuǎn)�、設(shè)備剛度等因素綜合估計(jì)頻率,選�0.5Hz�5kHz的加速度�(jì)。沖擊測(cè)量高頻居多�
  加速度傳感器的安裝方式不同也會(huì)改變使用頻響(對(duì)振動(dòng)值影響不大),安裝面要平�、光�,安裝選擇應(yīng)根據(jù)方便、安全的原則�
  加速度傳感器的重量、靈敏度與使用頻率成反比,靈敏度�,重量大,使用頻率低,這也是選擇的技��
  �(nèi)部結(jié)�(gòu)
  �(nèi)部結(jié)�(gòu)是指敏感材料晶體片感受振�(dòng)的方式及安裝形式,有壓縮和剪切兩大類(lèi),常�(jiàn)的有中心壓縮、平面剪�、三角剪切、環(huán)型剪�。中心壓縮頻響高于剪切型,剪切型的環(huán)境適�(yīng)性好于中心壓縮型。如配用積分型電荷放大器�(cè)量速度、位移時(shí),選用剪切型�(chǎn)品,這樣所得信�(hào)波動(dòng)�,穩(wěn)定性好�

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