在線氣體�(zhì)譜儀的工作流程圖氣體樣品→�(jìn)樣系�(tǒng)→離子源→質(zhì)量分析器→離�檢測�→數(shù)�(jù)處理�控制系統(tǒng),離子源、質(zhì)量分析器、離子檢測器必須在真空下工作�10�4pa)�
�(jìn)樣系�(tǒng)--可用卡套直接把樣品毛�(xì)管接到反�(yīng)�,通過持續(xù)不斷的�(jìn)�、快速的檢測,實(shí)�(shí)在線檢測樣品氣體的種類和含量的變�。�(jìn)樣壓力(100mbar-2bar),響�(yīng)�(shí)間可短至300ms。�(jìn)樣毛�(xì)管主要有石英毛細(xì)管和不銹鋼毛�(xì)管兩種。石英不會和酸性氣體反�(yīng)且氣體不容易吸附在其表面�
離子�--一般都選用電子轟擊離子源(EI)。中性分子被70ev的電子轟擊成離子。目前比較好的燈絲材料是�,它的使用壽命可�(dá)5�,而鎢燈絲的使用壽命僅1年。質(zhì)量分析器--市面上的在線氣體�(zhì)譜儀大都用四級桿�(zhì)量分析器。四極桿�(zhì)量分析器又稱為四極濾�(zhì)器。它由四根相互平行并均勻安置的金屬桿�(gòu)�,全屬桿的截面是雙曲線形的。離子束�(jìn)入電場后,在交變電場作用下產(chǎn)生了振蕩,在一定的電場�(qiáng)度和頻率�,只有某種質(zhì)量的離子能通過電場到達(dá)檢測�,其他離子則由于振幅增大,撞到極桿上而被“過濾”掉,并被真空泵抽走�
�(zhì)譜儀是通過對樣品離子質(zhì)荷比的測定來分析其組成的一類儀�。實(shí)�(yàn)室質(zhì)譜儀種類很多,從�(yīng)用的角度可以分為有機(jī)、無�(jī)、氣��同位素質(zhì)�儀幾類。有�(jī)�(zhì)譜是�(zhì)譜儀中數(shù)量最�,應(yīng)用最廣的一�,在線氣體質(zhì)譜也是質(zhì)譜大家庭中不可或缺的一�。在線氣體質(zhì)譜廣泛的�(yīng)用于殘余氣體分析(RGA)、催化研究(TPR、TPD、TPO)、環(huán)境尾氣分析、氣體純度分�、反�(yīng)動力�(xué)��
離子檢測�--法拉第杯(直接電測法)離子流直接為金屬電極所接收,并用電�(xué)方法記錄離子流大�。二次電子倍增器(二次效應(yīng)電測法)一定能量的正離子打擊陰極的表面,產(chǎn)生若干二次電�,然后用多級瓦片狀的二次電�(或稱打拿�)使二次電子不斷倍增,為陽極所檢測。二次電子倍增器的檢測極限更低。好�(diǎn)的質(zhì)譜會同時(shí)配備這兩種檢測器�
在線氣體�(zhì)譜儀基本上被國外壟斷,關(guān)鍵技�(shù)還不能國�(chǎn)�,做的比較好有MKS的Spectra系列�
維庫電子通,電子知識,一查百��
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