在使用壓�晶體傳感�的測(cè)試系�(tǒng)�,電�放大�是一種必不可少的信號(hào)適調(diào)器。它能夠?qū)鞲衅鬏敵龅奈⑷蹼姾尚盘?hào)�(zhuǎn)化為放大的電壓信�(hào),同�(shí)又能�?qū)鞲衅鞯母咦杩馆敵鲛D(zhuǎn)換成低阻抗輸��
在測(cè)試系�(tǒng)�,測(cè)試產(chǎn)品在�(guī)定的條件下和�(guī)定的�(shí)間內(nèi),完成規(guī)定功能的能力即為可靠�。測(cè)試系�(tǒng)的每一部分都會(huì)不同程度的影響整�(gè)系統(tǒng)的可靠性,由于部分的失效引起的系統(tǒng)失效的概率也就不��
隨著存儲(chǔ)�(cè)試技�(shù)的發(fā)�,存�(chǔ)�(cè)試系�(tǒng)逐漸模塊�、標(biāo)�(zhǔn)化和系列�。如果將一些功能模塊制成ASIC,就�(huì)滿足�(dòng)�(tài)�(cè)試對(duì)�(cè)試裝置的要求,并使存�(chǔ)�(cè)試系�(tǒng)可靠性得到極大地提高。圖1 為使用專用集成電路設(shè)�(jì)的存�(chǔ)�(cè)試系�(tǒng)。電荷放大器是測(cè)試系�(tǒng)中的一�(gè)串聯(lián)�(huán)節(jié),因此它的失效直接影響整�(gè)系統(tǒng)的失��
�2 為電荷放大器原理��
壓電晶體受到壓力作用�(chǎn)生電荷Q;Ca 是傳感器�(jí)間電�,Qa 是此�(shí)充到Ca 中的電荷;Cc 是傳感器傳輸電纜的電�,Qc是此�(shí)充到Cc 中的電荷,Gc 是輸入電纜漏電導(dǎo);Ci是電荷放大器的輸入電�,Qi 是此�(shí)充到Ci 中的電荷,Gi 是放大器的輸入電�(dǎo);Ud 是此�(shí)在運(yùn)算放大器反相輸入端上�(chǎn)生的差動(dòng)電壓;Cf 是電荷放大器的反饋電�,作用到Cf 兩端的電壓是Ud 和輸出電壓U0 的差值,Qf 是此�(shí)充入Cf 的電�,Gf 是放大器的反饋電�(dǎo);運(yùn)算放大器的開(kāi)�(huán)系數(shù)為A,由于電壓是反向輸入,所以:
U0=-A×Ud
因此作用在Cf 兩端的電壓為�
Ucf=Ud-�-A×Ud�=Ud×�1+A�
假設(shè)反饋電阻Rf的阻值為�(wú)限大�
Q=Qa+Qc+Qi+Qf=Ud×(Ca+Cc+Ci+�1+A)Cf�
所�
在精度的范圍�(nèi)可以忽略部分?jǐn)?shù)量級(jí)小的部分,可以認(rèn)為:
根據(jù)傳感器的電荷靈敏度、量程和反饋的電容計(jì)算出輸出的電��