射頻電源是等離子體配套電源,它是由射頻功率源,阻抗匹配器以及阻抗功率計(jì)組成,是八十年末期在我國(guó)新興的高科技領(lǐng)域,應(yīng)用于射頻濺射,PECVD 化學(xué)氣相沉積,反應(yīng)離子刻蝕等設(shè)備中.

現(xiàn)代的射頻電源有了長(zhǎng)足發(fā)展，由八十年代的電子管電源一步步的發(fā)展成現(xiàn)在的晶體管射頻電源，功率由瓦、百瓦、千瓦、到兆瓦，頻率有2Mhz/13.56Mhz/27.12Mhz/40.68Mhz等，而應(yīng)用也從以前的真空領(lǐng)域擴(kuò)展到其他領(lǐng)域，半導(dǎo)體、美容等。

等離子體

【等離子體】是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產(chǎn)生的正負(fù)電子組成的離子化氣體狀物質(zhì)，它是除去固、液、氣外，物質(zhì)存在的第四態(tài)。等離子體是一種很好的導(dǎo)電體，利用經(jīng)過(guò)巧妙設(shè)計(jì)的磁場(chǎng)可以捕捉、移動(dòng)和加速等離子體。等離子體物理的發(fā)展為材料、能源、信息、環(huán)境空間，空間物理，地球物理等科學(xué)的進(jìn)一步發(fā)展提新的技術(shù)和工藝。

看似“神秘”的等離子體，其實(shí)是宇宙中一種常見(jiàn)的物質(zhì)，在太陽(yáng)、恒星、閃電中都存在等離子體，它占了整個(gè)宇宙的99%�，F(xiàn)在人們已經(jīng)掌握利用電場(chǎng)和磁場(chǎng)產(chǎn)生來(lái)控制等離子體。例如焊工們用高溫等離子體焊接金屬。

等離子體可分為兩種：高溫和低溫等離子體。以上提到的是高溫等離子體�，F(xiàn)在低溫等離子體廣泛運(yùn)用于多種生產(chǎn)領(lǐng)域。例如：等離子電視，嬰兒尿布表面防水涂層，增加啤酒瓶阻隔性。更重要的是在電腦芯片中的蝕刻運(yùn)用，讓網(wǎng)絡(luò)時(shí)代成為現(xiàn)實(shí)。

高溫等離子體只有在溫度足夠高時(shí)發(fā)生的。太陽(yáng)和恒星不斷地發(fā)出這種等離子體，組成了宇宙的99%。低溫等離子體是在常溫下發(fā)生的等離子體（雖然電子的溫度很高）。低溫等離子體體可以被用于氧化、變性等表面處理或者在有機(jī)物和無(wú)機(jī)物上進(jìn)行沉淀涂層處理。