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激光刻阻機(jī)
閱讀�1125時間�2022-03-02 13:48:25

    激光刻阻機(jī),激光波長為1064/532/355nm,激光頻率為200Hz-50KHz �

�(shè)備特�(diǎn)

    --�(diào)阻精度高:的激光器提供了TEM00高光束質(zhì)量和極細(xì)線寬的激光束;四線制高速測量系�(tǒng),測量時間僅�25us;擁有軟件預(yù)�(diào)誤差�(bǔ)償功��

    --�(diào)阻速度快:的激光器擁有極高的重�(fù)頻率,在保證光斑重疊率的情況下能擁有很高速度;德國�(jìn)口掃描振�,掃描速度極快;高精度分步重復(fù)�(jī)�(gòu),空氣軸承,移動速度及加速度��

    --可靠性高:整�(jī)配置核心器件均采用原裝�(jìn)口配�;采用花崗巖臺座,穩(wěn)定可��

    --功能�(qiáng)大:擁有溫度實時�(bǔ)償功能;同時具有激光劃片和打標(biāo)功能�

    --�(yùn)行及維護(hù)成本低廉:采用半�(dǎo)體端面泵浦或光纖激光器;使用壽命長,性能�(wěn)定;電光�(zhuǎn)換效率高,節(jié)約用電成本;采用�(fēng)冷系�(tǒng),無須外置冷卻設(shè)備;操作簡單,無須高額培�(xùn)成本�


技�(shù)參數(shù)

    --激光器系統(tǒng)�

    激光類型:半導(dǎo)體端面泵浦激光器/光纖激光器

    激光波長:1064/532/355nm

    激光平均功率:10W/20W/7W(UV355)

    激光頻率:200Hz-50KHz

    典型光斑尺寸�30μm

    實際切口取決于材�、光�(xué)器件和波�;可根據(jù)需要選�532綠激光或355紫外激光小光斑�(dá)12μm

    泵浦源使用壽命:20,000�100�000小時

    冷卻方式:風(fēng)�

    對焦方式:計算機(jī)程序控制

    --激光束定位系統(tǒng)�

    激光束�(yùn)動范圍:75mmX75mm(可選配其他�(guī)格)

    �(diǎn)到點(diǎn)�(yùn)動時間:5ms(典型)

    大速度�7000mm/s

    重復(fù)定位精度�2.5μm

    激光束小步�(jìn)�0.76μm

    --圖像�(jiān)視系�(tǒng)�

    �(jiān)視方式:激光同軸監(jiān)�

    大放大倍數(shù)�>100�

    圖像�(jiān)視顯示屏�19寸液�

    --測量系統(tǒng)�

    激勵方式:電流/電壓激�

    恒流源:0.01μA~100mA計算�(jī)程控選擇

    恒壓源:0~20V計算�(jī)程控選擇(可選其它電壓范圍)

    電阻測量方式:四線制加電流測電壓

    直流電壓測量�10mV~10V(滿程電壓)

    �(diào)節(jié)對象�(fā)熱控制:程序可設(shè)�

    電阻測量精度:低阻:<0.05%+1%/R(R<100Ω�

    中阻�<0.05%

    高阻�<0.05%+0.02%r(r>0.1MΩ�

    電阻測量范圍�0.01Ω-500MΩ

    電阻測量速度�25μs

    直流電壓分辨率:0.16μV(在10mV滿量程條件下�

    探針板:44�11組四線制(可選其它規(guī)格)

    探針板運(yùn)動:計算�(jī)程序控制

    --計算�(jī)及軟件系�(tǒng)�

    工業(yè)控制計算�(jī)(雙核)�17寸液�

    操作系統(tǒng):WindowsXP

    VB平臺開發(fā)的可視化�(yīng)用軟�,界面友�,功能強(qiáng)�

    --分步重復(fù)�(yùn)動系�(tǒng)�

    �(yùn)動XY范圍�290x260mm

    �(yùn)動分辨率�1μm

    定位精度:小�6μm(帶誤差�(bǔ)償)

    重復(fù)定位精度:小�3μm

    大運(yùn)動速度�900mm/s

    具有溫度�(bǔ)�?shù)裙�?/p>

    --非接觸溫度測量:

    溫度測量精度�0.2�

    �(diào)阻溫度修正:計算�(jī)程序控制

    --其它技�(shù)指標(biāo)�

    供電電壓�220VAC

    整機(jī)功耗:小于1000W


�(yīng)用和市場

    �(yīng)用和市場:主要應(yīng)用于厚膜、薄膜電路的精密�(diào)節(jié)。廣泛應(yīng)用于厚膜混合集成電路、電子元器件、汽車電�、傳感器、軍工科�、片式電阻等行業(yè)�

維庫電子通,電子知識,一查百��

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