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場發(fā)射掃描電子顯微鏡
閱讀�1799時間�2022-03-18 15:46:39

    場發(fā)射掃描電子顯微鏡(FESEM)是電子顯微鏡的一種�

    該儀器具有超高分辨率,能做各種固�(tài)樣品表面形貌的二次電子像、反射電子象觀察及圖像處理。該儀器利用二次電子成像原理,在鍍膜或不鍍膜的基礎(chǔ)�,低電壓下通過在納米尺度上觀察生物樣品如組織、細(xì)�、微生物以及生物大分子等,獲得忠實原貌的立體感極強的樣品表面超微形貌�(jié)�(gòu)信息� 具有高性能x射線能譜儀,能同時進行樣品表層的微區(qū)點線面元素的定性、半定量及定量分�,具有形�、化�(xué)組分綜合分析能力�


基本介紹

    場發(fā)射掃描電子顯微鏡(FESEM)具有超高分辨率,能做各種固�(tài)樣品表面形貌的二次電子象、反射電子象觀察及圖像處理� 具有高性能x射線能譜儀,能同時進行樣品表層的微區(qū)點線面元素的定�、半定量及定量分�,具有形�、化�(xué)組分綜合分析能力�

技�(shù)參數(shù)

    1、分辨率

    2、放大倍數(shù)

    3、加速電�

    4、低壓范�

    5、探針電�

    6、樣品室

    7、樣品臺

    8、傾斜角


主要用�

    適用于對金屬、陶�、半�(dǎo)體、礦�、生物、高分子、復(fù)合材料和納米級一�、二維和三維材料的表面形貌進行觀察(二次電子像、背散射電子像)� 可進行微區(qū)的點、線、面成分分析� 指定元素在形貌上成象� 晶體材料的晶體取向及微區(qū)取向分析、結(jié)�(gòu)分析、正反極圖、歐拉空間分析等� 圖象定量分析�

儀器類�

    0304070201 /儀器儀� /光學(xué)儀� /電子光學(xué)及離子光�(xué)儀� /掃描式電子顯微鏡

指標(biāo)信息

    二次電子圖像(SEI� 分辨�1.5nm

    背散射電子圖像(BEI) 分辨�3.0nm

    X射線能譜儀(EDS� 分辨�128ev 分析范圍B5~U92

    電子背散射衍射(EBSP)空間分辨率 0.5μm 采集時間 20ms�2s/每菊池圖

    �(shù)字圖像采集系�(tǒng) 分辨�512×384pixe1 1024×768


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