�(wú)油干式機(jī)械真空泵(又簡(jiǎn)�(chēng)干式�(jī)械泵)是指泵能從大氣壓力下�(kāi)始抽�,又能將被抽氣體直接排到大氣中去,泵腔內(nèi)�(wú)油或其他工作介質(zhì),而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量�(jí)或者接近的�(jī)械真空泵�
�(chǎn)品介�
2013年止,真空行�(yè)使用的大多數(shù)�(jī)械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充�(dāng)泵的工作介質(zhì),在泵內(nèi)起冷�、密�、潤(rùn)滑等多種作用。隨著科�(xué)技�(shù)的發(fā)展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的�(kuò)大,原有的機(jī)械真空泵及其組成的抽氣系�(tǒng)出現(xiàn)了兩�(gè)急需解決�(wèn)�:一是泵的工作介�(zhì)返流污染被抽容器,而這種返流在許多情況下影響�(chǎn)品的�(zhì)量、數(shù)�,增加設(shè)備的維護(hù)成本。其�,由于某些工藝過(guò)程中的反�(yīng)物質(zhì)使真空泵�(nèi)的介�(zhì)�(yán)重變�(zhì),使泵不能正常工��
�(duì)于普通的�(wú)油真空系�(tǒng)�(lái)�(shuō),雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之�(lèi)附件�(lái)防止返流,但不能徹底解決�(wèn)題,而且使系�(tǒng)顯得�(fù)雜。而使用適�(dāng)型式的干式機(jī)械真空泵,則可以�(dá)到理想的使用效果�
�(yīng)�
干式�(jī)械真空泵的應(yīng)用是廣泛�,主要有以下幾�(gè)方面:
1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
2)半導(dǎo)�刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
3)除半�(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油�,而希望微粒排出泵�,則用一定型式的干式�(jī)械真空泵可以滿足要求;
4)在化�(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工�(yè)、食品工�(yè)中的蒸餾、干�、脫�、包裝等,要防止有機(jī)溶劑造成污染,適合用干式真空�;
5)用做一般無(wú)油清潔真空系�(tǒng)的前�(jí)�,以防止油污��
分類(lèi)
干式真空泵主要有下列幾種形式:
雙圓裂片�
雙圓裂片式設(shè)�(jì)和目前最流行和廣泛應(yīng)用的羅茨泵非常相�。事�(shí)�,一些最早期的干泵設(shè)�(jì)思想就是將羅茨泵疊加起來(lái)。這種多級(jí)�(shè)�(jì)使得氣體通路相當(dāng)�(fù)�,并且每一�(jí)都需要較大流量的�?dú)馄鸬较♂尯透綦x作用。同�(shí),為了達(dá)到好的真空度,對(duì)各級(jí)的間隙有非常�(yán)格的要求。當(dāng)�,這種�(shè)�(jì)由于增加了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相�(duì)較低�
三葉圓裂片式
三葉圓裂片式�(shè)�(jì)和雙圓裂片式�(shè)�(jì)的原理完全相�,只是在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩�。這兩種設(shè)�(jì)有著相同的優(yōu)�(diǎn)和缺�(diǎn)。為了�(jìn)一步降低耗電�,在傳動(dòng)部分有的廠家選用兩�(gè)直流馬達(dá),但這也�(huì)�(dǎo)致扭矩減小,重新啟動(dòng)的能�-下降。同雙圓裂片式設(shè)�(jì)一�,三葉圓裂片式設(shè)�(jì)的每一�(jí)都需要較大流量的�?dú)�?lái)起到稀釋和隔離作用�
組合�(羅茨+�)
組合�(羅茨+�)�(shè)�(jì)用羅茨來(lái)提高在較低壓力下的抽氣效率,用爪�(lái)提高在較高壓力下的抽氣效�。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式�(shè)�(jì)完全相同。也有些廠家將其最后一�(jí)改為星型�(shè)�(jì),這樣可以在旋�(zhuǎn)一圈中將氣體分為五�,就像三圓裂片式�(shè)�(jì)可以將其分為三份。同�,在很多工藝�,組合式�(shè)�(jì)的每一�(jí)都需要較大流量的�?dú)�?lái)起到稀釋和隔離作用�
外部壓縮型螺桿式
在外部壓縮型螺桿式設(shè)�(jì)�,使用一�(duì)等距螺桿。這使得內(nèi)部壓縮減到最�,同�(shí)使得氣體通路最短也最�(jiǎn)�。這樣,氣體在泵體�(nèi)停留的時(shí)間也最短。雖然這種�(shè)�(jì)由于減少了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相�(duì)較高,但在很多復(fù)雜的半導(dǎo)體工藝中表現(xiàn)出極高的�(wěn)定�。這種單級(jí)�(shè)�(jì)使得其對(duì)�?dú)庥昧康囊笠卜浅P《�?jiǎn)�,這樣就使得其在不同工藝中有很好的互換�。在很多清潔的工藝中甚至可以不用�?dú)�?/p>
�(nèi)部壓縮型螺桿�
除了使用一�(duì)非等距螺桿以外,�(nèi)部壓縮型螺桿式設(shè)�(jì)和外部壓縮型螺桿式設(shè)�(jì)的基本原理非常相�。螺桿間容積的不斷減小使得其�(nèi)部產(chǎn)生壓縮。這種�(shè)�(jì)由于�(chǎn)生內(nèi)部壓縮而使得其耗電量降低到同多�(jí)泵相�(dāng)?shù)乃?。但在很多工藝中,這種�(nèi)部壓縮同多級(jí)泵一�,極易造成氣體在泵體內(nèi)的物理化�(xué)變化而產(chǎn)生固化或液化�
工作原理
1) 干式螺桿真空�
干式螺桿真空�,是利用一�(duì)螺桿,在泵殼中作同步高速反向旋�(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣�(shè)�,兩螺桿�(jīng)精細(xì)�(dòng)平衡校正,由軸承支撐,安裝在泵殼�,螺桿與螺桿之間都有一定的間隙,因此泵工作�(shí),相互之間無(wú)磨擦,運(yùn)�(zhuǎn)平穩(wěn),噪音低,工作腔�(wú)需�(rùn)滑油,因�,干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體�(chǎng)�,極限真空更高,消耗功率更�,具有節(jié)�,免維修等優(yōu)�(diǎn)。它是油封式/水環(huán)�/噴射式真空泵的更�?lián)Q代產(chǎn)��
2) �(wú)油往�(fù)真空�
靠活塞往�(fù)�(yùn)�(dòng)使泵�(氣缸)的工作容積周期性地變化�(lái)抽氣的真空泵,又�(chēng)活塞真空�。往�(fù)真空泵的�(jié)�(gòu)與往�(fù)活塞壓縮�(jī)相似。工作時(shí),吸氣管接被抽真空容器,排氣管直通大�。往�(fù)真空泵可用于真空蒸餾、真空濃縮、真空結(jié)�、真空過(guò)濾、真空干燥和混凝土真空作�(yè)��
3) 爪式真空�
爪式真空泵由多級(jí)�(zhuǎn)子構(gòu)�,其中每�(jí)都有2�(gè)�(zhuǎn)子構(gòu)�,兩�(gè)�(zhuǎn)子反方向旋轉(zhuǎn),吸氣口與泵腔接�,泵腔容積變大而吸氣,�(dāng)�(zhuǎn)子關(guān)閉吸氣口�(shí)吸氣�(jié)�,以后泵腔變小而壓縮氣�,當(dāng)排氣口打�(kāi)后泵腔排�,排氣口�(guān)閉時(shí)則排氣完畢,如此循環(huán)工作�
4) �(wú)油渦旋真空泵
渦旋�(wú)油真空泵的渦旋盤(pán)就是一�(gè)一端與一�(gè)平面相接的一�(gè)或幾�(gè)漸開(kāi)線螺旋形成一�(gè)渦旋型盤(pán)狀�(jié)�(gòu)。一�(gè)靜渦旋盤(pán)與一�(gè)�(dòng)渦旋�(pán)組成的一�(duì)渦旋�(pán)付構(gòu)成了渦旋�(wú)油真空的基本抽氣�(jī)�(gòu)。例如在雙級(jí)渦旋�(wú)油真空泵�,有兩�(gè)方向?qū)�?yīng)的固定渦旋盤(pán),一�(gè)位于兩�(gè)渦旋�(pán)之間的轉(zhuǎn)�(dòng)渦旋�(pán)。動(dòng)、靜渦旋�(pán)相對(duì)�(yùn)�(dòng)形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣從抽氣口吸�、排氣口排出、完成排氣循�(huán)�
性能比較
1)真空�:干式螺桿真空�、爪式真空泵、無(wú)油渦旋真空泵極限真空度都很高,最高極限真空均可達(dá)�1-2Pa;�(wú)油往�(fù)真空泵為粗真空設(shè)�,極限真空度�,需要搭配羅茨真空泵提高極限真空�
2) 抽氣�:�(wú)油渦旋真空泵由于�(nèi)部結(jié)�(gòu)�(wèn)�,抽氣量較小,只適用于小抽氣量的工藝�;干式螺桿真空泵型�(hào)齊全,可適用大抽氣量工藝中,配合羅茨真空泵可以滿足不同客戶的需��
3)�(wěn)定�:干式螺桿真空泵性能�(wěn)�,噪音低,故障率�;�(wú)油往�(fù)真空泵結(jié)�(gòu)�(jiǎn)�,噪音較高,需要經(jīng)常更換滑�。爪式真空泵由于裝配�(fù)雜,�(zhuǎn)子與軸不為一�,出�(xiàn)故障需全部重新拆解裝配,反�(fù)裝配從而降低產(chǎn)品性能及穩(wěn)定��
4)特殊處理:由于化工、制藥等相關(guān)工藝氣中�(huì)不同程度含有易燃、易爆以及腐蝕性氣�,所以干式真空泵需要特殊處�。干式螺桿真空泵�(nèi)部結(jié)�(gòu)�(jiǎn)�,兩根轉(zhuǎn)�、泵腔均可做防腐處理,可選用鎳磷涂層和特氟龍兩種涂層。爪式真空泵很難做防腐處�,各�(jí)隔板之間幾乎�(wú)法做表面處理,轉(zhuǎn)子表面的防腐涂層也容易在裝配�(shí)損傷。無(wú)油渦旋真空泵只適合抽潔凈的氣體,不能抽取易燃、易爆及具有腐蝕性的氣體�
維庫(kù)電子通,電子知識(shí),一查百通!
已收錄詞�168858�(gè)