它用來測量高精度的工具機，如NC車床、銑床、切削加工機、三次元量床等床面，其靈敏度非常高，若以測量時可左右偏移25刻度計算，測量工件只在一定的傾斜范圍內(nèi)均可測量。
具有一個基座測量面，以電容擺的平衡原理測量被側(cè)面相對水平面微小傾角的測量器具。其中，以指針式指示裝置指示測量值的儀器稱為指針式電子水平儀，以數(shù)顯式指示裝置指示測量值的儀器稱為數(shù)顯式電子水平儀。
儀器若已處于測量的極限位置，重新調(diào)整到零位，從而在該水平位置上，進行更大量程測量的一種裝置。
儀器被調(diào)整到零位（零位或相對零位）的裝置。
電子水平儀的主要原理有電感式和電容式等兩種。根據(jù)測量方向不同還可分為一維和二維電子水平儀.
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