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�(zhì)量流量控制器
閱讀�2802�(shí)間:2022-05-09 14:57:54

    �(zhì)�流量控制�的英文名字叫"MASS FLOW CONTROLLER"(�(jiǎn)稱MFC),它通常�電路��傳感�、�(jìn)出氣管道接頭�分流�管道、機(jī)殼、調(diào)節(jié)閥等部件組成�

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    �(zhì)量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER�(�(jiǎn)稱MFC),它通常由流量傳感器、流量調(diào)節(jié)閥、放大控制電路和分流器控制通道等部件組�。它的工作電源及流量顯示和設(shè)定等操作由與其配套的流量顯示電源提供�

用途與特點(diǎn)

    �(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對(duì)于氣體或者液體的�(zhì)量流量�(jìn)行精密測(cè)量和控制。擴(kuò)散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺�,離子注入,以及真空鍍膜�(shè)�,光纖熔�,微反應(yīng)裝置,混氣配氣系�(tǒng),毛�(xì)管測(cè)量氣象色譜儀,光�(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。冶�,制藥等。特�(diǎn):精度高,重�(fù)性好�

一般類�

    �(zhì)量流量控制器一般分為以下幾種類型:

    1. 容積式流量計(jì),又稱定排量流量�(jì)。它利用�(jī)械測(cè)量元件把流體連續(xù)不斷的分割成單�(gè)已知的體積部分,根據(jù)�(cè)量室逐次重復(fù)的充滿和排放該體積部分流體的次數(shù)�(lái)�(cè)量流體體積流��

    2. 浮子式流量計(jì),又稱轉(zhuǎn)子流量計(jì),是變面積式流量�(jì)的一種,在一根由下向上擴(kuò)大的垂直錐管�,圓形橫截面的浮子的重力是由液體�(dòng)力承受的,從而使浮子可以在錐管中自由的上升和下降�

    3. 差壓式流量計(jì) ,是根據(jù)安裝于管道中流量檢測(cè)件產(chǎn)生的差壓,已知的流體的條件和檢測(cè)間與管道的尺寸來(lái)�(jì)算流量的儀��

    4. 渦街流量�(jì),在流體中安放一根非流線型游渦發(fā)生體,流體在�(fā)生體兩側(cè)交替的分離釋放出兩串�(guī)則地交錯(cuò)排列的游渦的儀��

    5. 渦輪流量�(jì),是速度式流量計(jì)中的主要種類,它采用多葉片的�(zhuǎn)子(渦輪)感受流體平均流�,從而推�(dǎo)出流量或總量的儀��

    6. 超聲流量�(jì),通過檢測(cè)流體流動(dòng)�(duì)超聲束(或超聲脈沖)的作用以�(cè)量流量的儀��

    7. 電磁流量�(jì),電磁流量計(jì)是根�(jù)法拉弟電磁感�(yīng)定律制成的一種測(cè)量導(dǎo)電性液體的儀�。電磁流量計(jì)有一系列特�,可以解決其它流量�(jì)不易�(yīng)用的問題,如臟污流、腐蝕流的測(cè)��

    8. 熱式流量�(jì),熱式流量計(jì)傳感器包含兩�(gè)傳感元件,一�(gè)速度傳感器和一�(gè)溫度傳感器。它們自�(dòng)地補(bǔ)償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一�(gè)定值,使速度傳感器和�(cè)量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫�。當(dāng)保持溫差不變�(shí),電加熱消耗的能量,也可以說熱消散值,與流過氣體的�(zhì)量流量成正比,它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測(cè)��

    科里奧利式流量計(jì),其原理是利用流體在振管�(nèi)流動(dòng)�(shí)�(chǎn)生的科氏�,以直接或間接地方法�(cè)量其力而得到流體質(zhì)量流��


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