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四探針測試儀
閱讀�1617時間�2022-06-08 08:55:55

    �(shù)字式�探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)�,該儀器按照單晶硅物理測試方法國家�(biāo)�(zhǔn)并參考美� A.S.T.M �(biāo)�(zhǔn)而設(shè)計的,專用于測試半導(dǎo)�材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器�

概述

    �(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)�。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家�(biāo)�(zhǔn)并參考美� A.S.T.M �(biāo)�(zhǔn)而設(shè)計的,專用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電�(薄層電阻)的專

    用儀器。儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成,測量�(shù)�(jù)既可由主機直接顯�,亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)�(jù)到計算機中加以分析,然后以表�,圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果�


特點

    儀器采用了新電子技�(shù)進行�(shè)�、裝配。具有功能選擇直觀、測量取�(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)�(gòu)緊湊、易操作等特��

�(yīng)�

    本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半�(dǎo)體器件廠、科研單�、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試�

    四探針軟件測試系�(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程�,通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數(shù)�(jù)并對測試�(shù)�(jù)進行�(tǒng)計分析�

    測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)�(jù),把采集到的�(shù)�(jù)在計算機中加以分�,然后把測試�(shù)�(jù)以表�,圖形直觀地記錄、顯示出�。用戶可對采集到的數(shù)�(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)�(jù)輸出到Excel�,讓用戶對數(shù)�(jù)進行各種�(shù)�(jù)分析


技�(shù)參數(shù)

    測量范圍 電阻率:10-4�105 Ω.cm(可擴�)�

    方塊電阻�10-3�106 Ω/�(可擴�)�

    電導(dǎo)率:10-5�104 s/cm�

    電阻�10-4�105 Ω�

    可測晶片直徑 140mmX150mm(配S-2A型測試臺)�

    200mmX200mm(配S-2B型測試臺)�

    400mmX500mm(配S-2C型測試臺)�

    恒流� 電流量程分為1μA�10μA�100μA�1mA�10mA�100mA六檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)

    �(shù)字電壓表 量程及表示形式:000.00�199.99mV�

    分辨力:10μV�

    輸入阻抗�>1000MΩ�

    精度:�0.1% �

    顯示:四位半紅色�(fā)光管�(shù)字顯示;極�、超量程自動顯示�

    四探針探頭基本指�(biāo) 間距�1±0.01mm�

    針間絕緣電阻:≥1000MΩ�

    機械游移率:�0.3%�

    探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm�

    探針壓力�5�16 牛頓(總力)�

    四探針探頭應(yīng)用參�(shù) (見探頭附帶的合格�)

    模擬電阻測量相對誤差

    ( 按JJG508-87進行) 0.01Ω�0.1Ω�1Ω�10Ω�100Ω�1000Ω�10000Ω�0.3%±1�

    整機測量大相對誤� (用硅�(biāo)樣片�0.01-180Ω.cm測試)≤�5%

    整機測量�(biāo)�(zhǔn)不確定度 �5%

    計算機通訊接口 并口

    �(biāo)�(zhǔn)使用�(huán)� 溫度�23±2℃;

    相對濕度:≤65%�

    無高頻干��

    無強光直射;


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