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�(cè)量顯微鏡
閱讀�916�(shí)間:2022-06-09 10:59:03

    �(cè)量顯微鏡,采用�、反射的方式�(duì)工件�(zhǎng)度和角度作精密測(cè)量。特別適用于錄象磁頭、大�(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的�(cè)�。廣泛地適用于計(jì)量室、生�(chǎn)作業(yè)線及科學(xué)研究等部門(mén)。工作臺(tái)除作X、Y坐標(biāo)的移�(dòng)外,還可以作360度的旋轉(zhuǎn),亦可以�(jìn)行高度方向做Z坐標(biāo)的測(cè)�;采用雙筒目鏡觀察。照明系�(tǒng)除作�、反射照明外還可以作斜光線照�。儀器�(jìn)一步可連接CCD電視攝像頭,作工件的輪廓放大;亦可連接�(jì)算機(jī)�(jìn)行數(shù)�(jù)處理等測(cè)��

107JA

    �(chǎn)品簡(jiǎn)介:

    �(cè)量顯微鏡107JA,采用�、反射的方式�(duì)工件�(zhǎng)度和角度作精密測(cè)�。特別適用于錄象磁頭、大�(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的�(cè)�。廣泛地適用于計(jì)量室、生�(chǎn)作業(yè)線及科學(xué)研究等部門(mén)�

    107J為光柵數(shù)顯的小型精密�(cè)�?jī)x�。工作臺(tái)除作X、Y坐標(biāo)的移�(dòng)�,還可以�360o的旋�(zhuǎn),亦可以�(jìn)行高度方向做Z坐標(biāo)的測(cè)�;采用雙筒目鏡觀�。照明系�(tǒng)除作�、反射照明外還可以作斜光線照�。儀器�(jìn)一步可連接CCD電視攝像�,作工件的輪廓放�;亦可連接�(jì)算機(jī)�(jìn)行數(shù)�(jù)處理等測(cè)量。是一種理想的多用途的小型精密�(cè)�?jī)x��

    107JA�(cè)量顯微鏡

    技�(shù)參數(shù)�

    1、鏡筒:粗動(dòng):調(diào)節(jié)范圍 90毫米

    微動(dòng):調(diào)節(jié)范圍2毫米

    高(Z)測(cè)量:范圍1毫米,小讀�(shù)0.001毫米(比較測(cè)量)

    鏡筒:雙目鏡� 俯角45º

    2、工作臺(tái):左右(X軸):移�(dòng)范圍25毫米

    前后(Y軸):移�(dòng)范圍25毫米

    分辨率:1微米

    旋轉(zhuǎn)�360º

    3、照明系�(tǒng):光源:透射照明�8V12W �(lán)、綠色濾光片

    反射照明�8V12W 磨沙燈泡、綠色濾光片

    � � ��8V12W綠色濾光�

    電源:AC220±22V 50/60Hz

    4、光�(xué)系統(tǒng):目鏡:BWF 10X

    物鏡�4X、工作距�17.5、焦�28.8

    10X、工作距�11.6、焦�15.4

    40X、工作距�0.66、焦�4.4

    5、光�(xué)放大倍數(shù):

    放大倍數(shù)�:目鏡x物鏡

    電子放大倍數(shù)�:35x~2500x



基本原理

    與STM類似,在AFM�,使用對(duì)微弱力非常敏感的彈性懸臂上的針尖對(duì)樣品表面作光柵式掃描。當(dāng)針尖和樣品表面的距離非常接近�(shí),針尖的原子與樣品表面的原子之間存在極微弱的作用力(10-12~10-6N),此時(shí),微懸臂就會(huì)�(fā)生微小的彈性形�。針尖與樣品之間的力F與微懸臂的形變之間遵循虎克定律:F=-k*x ,其�,k為微懸臂的力常數(shù)。所�,只要測(cè)出微懸臂形變量的大小,就可以獲得針尖與樣品之間作用力的大�。針尖與樣品之間的作用力與距離有�(qiáng)烈的依賴�(guān)系,所以在掃描�(guò)程中利用反饋回路保持針尖與樣品之間的作用力恒�,即保持為懸臂的形變量不變,針尖就會(huì)隨樣品表面的起伏上下移動(dòng),記錄針尖上下運(yùn)�(dòng)的軌跡即可得到樣品表面形貌的信息。這種工作模式被稱為“恒力”模式(Constant Force Mode�,是使用廣泛的掃描方式�

    AFM的圖像也可以使用“恒高”模式(Constant Height Mode)來(lái)獲得,也就是在X,Y掃描�(guò)程中,不使用反饋回路,保持針尖與樣品之間的距離恒�,通過(guò)�(cè)量微懸臂Z方向的形變量�(lái)成像。這種方式不使用反饋回�,可以采用更高的掃描速度,通常在觀察原子、分子像�(shí)用得比較�,而對(duì)于表面起伏比較大的樣品不適用�


技�(shù)參數(shù)

    技�(shù)參數(shù)�

    1、鏡筒:粗動(dòng):調(diào)節(jié)范圍 90毫米,微�(dòng):調(diào)節(jié)范圍2毫米,高(Z)測(cè)量:范圍1毫米,小讀�(shù)0.001毫米(比較測(cè)量),鏡筒:雙目鏡筒 俯角45?�

    2、工作臺(tái):左右(X軸):移�(dòng)范圍25毫米,前后(Y軸)

    �(cè)量顯微鏡

    :移�(dòng)范圍25毫米,分辨率�1微米,旋�(zhuǎn)�360?�

    3、照明系�(tǒng):光源:透射照明�8V12W �(lán)、綠色濾光片,反射照明,8V12W 磨沙燈泡、綠色濾光片,斜 � ��8V12W綠色濾光�,電源:AC220±22V 50/60Hz�

    4、光�(xué)系統(tǒng):目鏡:BWF 10X;物鏡:4X、工作距�17.5、焦�28.8�10X、工作距�11.6、焦�15.4�40X、工作距�0.66、焦�4.4�

    5、X---Y軸測(cè)量范圍:50×13mm�

    6、測(cè)微器分度值:0.01mm�

    7、圓工作�(tái)角度�(cè)量范圍:0°/360°�

    8、儀器測(cè)量準(zhǔn)確度:儀器示值誤差�(5+L/15)�

    9、放大倍數(shù) 25×/100×


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