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激光干涉儀
閱讀�6579�(shí)間:2010-12-02 15:23:34

  一次安裝能夠同�(shí)�(cè)量線性軸的六�(gè)誤差,包�1�(gè)位置度誤差�2�(gè)直線度誤��3�(gè)角度誤差�

技�(shù)綜述

  1D激光主要可以測(cè)量定位誤�

  3D激光可以測(cè)量定位誤�、直線度誤差(雙向)

  5D/6D激光可以測(cè)量定位誤�、直線度誤差(雙向)、偏擺角、俯仰角和滾�(dòng)�

技�(shù)參數(shù)

  5D/6D�(biāo)�(zhǔn)型:

  1. 線性:0.5ppm .

  2. �(cè)量范圍:40米(1D可選80米)

  3. 線性分辨力�0.001um.

  4. 偏擺角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大�

  5. 范圍�800角秒

  6. 滾動(dòng)角精度:1.0角秒

  7. 直線度精度:�1.0+0.2/m)um�1%顯示較大�

  8. 直線度范圍:500um

  9. 垂直度精度:1角秒

  10. 溫度精度�0.2攝氏�

  11.濕度精度�5%

  12.壓力精度�1mmHg

主要特點(diǎn)

  1. 同時(shí)�(cè)量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾�(dòng)�

  2. �(shè)�(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上�5D/6D傳感�

  3. 可選的無線遙控傳感器最�(zhǎng)的控制距離可�25�

  4. 可測(cè)量速度、加速度、振�(dòng)等參�(shù),并�(píng)估機(jī)床動(dòng)�(tài)特�

  5. 全套系統(tǒng)重量?jī)H15公斤,設(shè)�(jì)緊湊、體積小,測(cè)量機(jī)床時(shí)不需三角�

  6. 集成干涉鏡與激光器于一體,�(jiǎn)化了�(diào)整步�,減少了�(diào)整時(shí)�

儀器介�

  在通常情況下需要數(shù)天時(shí)間�(jìn)行的�(cè)試,使用API激光干涉儀只需幾�(gè)小時(shí)即可完成,實(shí)際應(yīng)用結(jié)果表�,節(jié)省時(shí)間可�(dá)80%。該儀器體積小,重量輕,可以直接安裝到�(jī)床導(dǎo)軌上�6D激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器、干涉儀�6維傳感器組成,從激光器�(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后,被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束,一束光�(jīng)錐角反射棱鏡反向后返回干涉儀與參考光束相干產(chǎn)生干涉條�,經(jīng)光學(xué)相位探測(cè)器識(shí)別后�(jìn)行電子記�(shù),記錄精確長(zhǎng)度位�。第二束光用作直線度�(cè)量的參考光束,傳感器與參考光束之間的相對(duì)位移由裝在傳感器�(nèi)的橫向疚光電二級(jí)管測(cè)�。第三束光用作裝�6D傳感器內(nèi)的小型光電測(cè)角儀的參考光源,用來�(cè)量角度誤差(俯仰角和偏擺角)。為了保證激光光束的�(wěn)定�,測(cè)�?jī)x在結(jié)�(gòu)的設(shè)�(jì)以及激光器的選擇方面都做了仔細(xì)周密的考慮,以使測(cè)�?jī)x的橫向和角度漂移量都降低到最�,從而保證測(cè)�?jī)x的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。測(cè)�?jī)x配有自動(dòng)氣壓、環(huán)境溫度補(bǔ)償器,自�(dòng)校正�(huán)境變化對(duì)激光波�(zhǎng)及長(zhǎng)度測(cè)量的影響,測(cè)�?jī)x還配有專門�(shè)�(jì)的多�?cái)?shù)字濾波器,使由空氣波�(dòng)及溫度梯度引起的�(cè)量誤差降到最��

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