液晶玻璃基板是TFT-LCD(薄�晶體管液�顯示�)的重要原材料,是影響顯示屏�(zhì)量的重要零組�。液晶玻璃基板需求量近年�(lái)還是逐年�(wěn)增的趨勢(shì),如今已�(jīng)�(fā)展到�10代線�
玻璃基板由CF和TFT兩部分組�,如圖:
TFT陣列式基板形成階�
TFT array之制程主要清�,成膜,而后黃光制板,后再�(jīng)蝕刻制程形成所要的圖樣,然后依光�?jǐn)?shù)而作 循環(huán)制程,在這循�(huán)制程中要先將洗凈的玻璃基板送�(jìn)濺鍍�(jī)�(tái)鍍上一層金屬后,再用黃光及蝕刻制程形成閘�,區(qū)域圖�,隋后玻璃基板�(jīng)光阻剝離洗凈,再以薄膜區(qū)電漿輔助化學(xué)相沉積機(jī)�(tái)形成用作主動(dòng)區(qū)�,�(jīng)�(guò)一系列的協(xié)�.后以薄膜區(qū)化學(xué)氣相沉積楊臺(tái)上形成TFT區(qū)域保�(hù)�,挖出接角也洞,再濺鍍上一層氧化錮錫膜(ITO),再用黃光及蝕刻區(qū)制程形成�(huà)素區(qū)域圖樣而在這循�(huán)制程中以后通TFT蝕刻制程為主要步�.
TFT的結(jié)�(gòu)依閘,�,汲極沉積的先后順�,大致可分為四�(lèi),如圖,目前正在�(chǎn)量TFT多是以反�(zhuǎn)堆疊式結(jié)�(gòu)為主,而因它構(gòu)造簡(jiǎn)單及制程容易則廣泛被TFT制造業(yè)者所采用,又由於制程有差異分為:1)后通道蝕刻TFT,2)后通護(hù)TFT或再�(chēng)為三層結(jié)�(gòu)TFT.TFT的制作流程關(guān)鍵步驟是蝕刻后通道端的N型非晶矽.以形成閘極可控制的通道,這一般是干蝕刻法,而造成漏電流的原因可能后通道在作干鹿記得�(shí)容易造成物摶殘留.
TFT-LCD形成階段
在TFT-LCD玻璃完成所有制程后,再配合上另一擤具有紅,�,�(lán)彩色濾光膜的玻璃,先配向膜�,配向處理,間隔物的涂布及上框膠之后再�(jìn)行兩片玻璃上下封�,切割裂片磨邊�(dǎo)�,清洗,再�(jìn)行液晶注入及封口,再目檢及電測(cè),其中最重要的步驟如�:
1)配向處理
目前所采用的配全處理方法是刷磨處理,主要是以卷在金屬滾軸的絨布刷磨燒制后的配向膜,使液晶分子能�(yù)先朝一定方向的方法.
2)間隔物的灑布
目的是為了獲得均勻的液晶厚度,它分散的密度高的話可以得到較均勻的CELL GAP,若間隔物有漏光時(shí)�(huì)降低品質(zhì),反之,間隔物分散度越低�(shí)便無(wú)法得均勻的CELL GAP,也會(huì)影響品質(zhì).因此適量均勻的間隔物灑布非常重要,目前以灑式散布法較容易控制密�, 要先做好灑上間隔�,固上框膠后才可以�(jìn)行CF及TFT的封�(zhǔn)組合.
3)面板切割
以TFT與CF的封�(zhǔn)組合再以超硬�(zhì)鋼刀滾輪切割再壓裂的方式得到每一片面�.
以后隋著外型,大小及模組外型的狹框�,薄型化的�(fā)�,以超硬質(zhì)鋼刀�(wú)法潢足要�,以后以雷射切割的方式.
4)液晶注入
I將玻璃在�(jī)�(tái)上用外框固定�,用直下式的方法注入液晶注入液晶時(shí),�(yīng)注意避免造成spacer broken及spacer聚集.)
II先讓CELL�(nèi)部真空化�,將CELL的液晶注放口浸入液晶槽中,再以�?dú)?作破真空的動(dòng)�,�(nèi)外壓力差與毛�(xì)�(xiàn)�(huì)使液晶注入CELL�(nèi)�
Spacer broken:是注入液晶時(shí),液晶顆粒�,兩片玻璃壓合�(shí)�(chǎn)生破�.
Spacer聚集:注入液晶�(shí),液晶有大顆的也有小顆,由於液晶太小在中槽中�(huì)滾動(dòng),幾顆碰到一起就形成了Spacer聚集.
5)目檢及電�(cè)
液晶CELL工程主要的檢查是液晶注入后的配向檢查,初期�(diǎn)燈檢查與最終檢查而這些檢查都是以目視�(jìn)�.
1)高解析度
2)高亮�
3)廣視�
4)低耗電�
5)低制造成�