半導(dǎo)�氣體傳感�是利�半導(dǎo)體氣敏元�作為敏感元件的氣�傳感�,是最常見的氣體傳感器,廣泛應(yīng)用于家庭和工廠的可燃?xì)怏w泄露檢測(cè)裝置,適用于甲烷、液化氣、氫氣等的檢�(cè)�
�(duì)于半�(dǎo)體氣體傳感器,按照半�(dǎo)體與氣體的相互作用是在其表面還是在其�(nèi)�,可分為表面控制型和體控制型兩種;按照半�(dǎo)體變化的物理性質(zhì),又可分為電阻型和非電阻型兩�。電阻型半導(dǎo)體氣體傳感器是利用半�(dǎo)體接觸氣體時(shí)其阻值的改變來檢�(cè)氣體的成分或濃度;而非電阻型半�(dǎo)體氣體傳感器則是根據(jù)�(duì)氣體的吸附和反應(yīng),使半導(dǎo)體的某些特性發(fā)生變化對(duì)氣體�(jìn)行直接或間接檢測(cè)�
半導(dǎo)體氣體傳感器是利用氣體在半導(dǎo)體表面的氧化還原反應(yīng)�(dǎo)致敏感元件組織發(fā)生變化而制成的。當(dāng)半導(dǎo)體器件被加熱到穩(wěn)定狀�(tài),在氣體接觸半導(dǎo)體表面而被吸附�(shí),被吸附的分子首先在物體表面自由�(kuò)�,失去運(yùn)�(dòng)能量,一部分分子被蒸�(fā)掉,另一部分殘留分子�(chǎn)生熱分解吸附在物體表�。當(dāng)半導(dǎo)體的功函�(shù)小于吸附分子的親和力,則吸附分子將從器件奪走電子而變成負(fù)離子吸附,半�(dǎo)體表面呈�(xiàn)電荷��
例如氧氣,等具有�(fù)離子吸附傾向的氣體被稱為氧化型氣體。如果半�(dǎo)體的功函�(shù)大于吸附分子的離解能,吸附分子將向器件釋放出電子,而形成正離子吸附。具有正離子吸附傾向的氣體有氫氣、一氧化碳等,它們被稱為還原性氣��
�(dāng)氧化型氣體吸附到N型半�(dǎo)體,還原性氣體吸附到P型半�(dǎo)體上�(shí),將使半�(dǎo)體載流子減少,而使電阻增大。當(dāng)還原型氣體吸附到N型半�(dǎo)體上,氧化型氣體吸附到P型半�(dǎo)體上�(shí),則載流子增�,半�(dǎo)體阻值下��
非電阻型氣體傳感器也是半�(dǎo)體氣體傳感器之一。它是利用MOS二極管的電容-電壓特性的變化以及MOS�(chǎng)效應(yīng)晶體管的閾值電壓變化等特性而制成的氣體傳感器。由于這類傳感器的制造工藝成�,便于器件集成化,因而其性能�(wěn)定價(jià)格便宜。利用特定材料還可以使傳感器�(duì)某些氣體特別敏感�
維庫電子�,電子知�(shí),一查百��
已收錄詞�170104�(gè)