XRF,X射線熒光光譜分析�(X Ray Fluorescence),利用初級X射線光子或其他微觀離子激�(fā)待測物質(zhì)中的原子,使之產(chǎn)生熒�(次級X射線)而�(jìn)行物�(zhì)成分分析和化�(xué)�(tài)研究的方法。按激�(fā)、色散和探測方法的不�,分為X射線光譜�(波長色散)和X射線能譜�(能量色散)�
照射原子核的X射線能量與原子核的內(nèi)層電子的能量在同一�(shù)量級�(shí),核的內(nèi)層電子共振吸收射線的輻射能量后發(fā)生躍�,而在�(nèi)層電子軌道上留下一�(gè)空穴,處于高能態(tài)的外層電子跳回低能態(tài)的空�,將過剩的能量以X射線的形式放�,所�(chǎn)生的X射線即為代表各元素特征的X射線熒光譜線。其能量等于原子�(nèi)殼層電子的能級差,即原子特定的電子層間躍遷能�。X射線熒光分析法是根據(jù)特征譜線的波長或光量子能量來鑒別元素��
XRF具有制樣簡單、精密度�、準(zhǔn)確度�、自動化程度高,能同�(shí)對多元素快速分析等�(yōu)�(diǎn),已成為化學(xué)元素分析的常用工具之一�X射線熒光光譜分析法用于物�(zhì)成分分析,檢出限一般可�(dá)10-5�10-6克/�(g/g),對許多元素可測�10-7�10-9g/g,用�(zhì)子激�(fā)�(shí) ,檢出可�(dá)10-12g/g;強(qiáng)度測量的再現(xiàn)性好;便于�(jìn)行無損分�;分析速度快;�(yīng)用范圍廣,分析范圍包括原子序�(shù)Z�3的所有元�。除用于物質(zhì)成分分析外,還可用于原子的基本性質(zhì)如氧化數(shù)、離子電�、電�(fù)性和化學(xué)鍵等的研��XRF技�(shù)已經(jīng)廣泛�(yīng)用于地質(zhì)、冶�、采�、有�、海�、生�、環(huán)境、石�、商�、電子、公�、考古、難融化物和陶瓷工業(yè)、RoHs� WEEE分析等領(lǐng)��
20世紀(jì)20年代瑞典的G.C.de赫維西和R.格洛克爾曾先后試圖應(yīng)用此法從事定量分�,但由于�(dāng)�(shí)記錄和探測儀器水平的限制,無法實(shí)�(xiàn)�40年代�,隨著核物理探測器的改�(jìn),各種�(jì)�(shù)器相繼應(yīng)用在X射線的探測上,此法的�(shí)際應(yīng)用才成為�(xiàn)�(shí)�1948年H.弗里德曼� L.S.伯克斯制成了一臺波長色散的X射線熒光分析儀,此法才開始�(fā)展起�。此�,隨著X射線熒光分析理論和方法的逐漸開拓和完�、儀器的自動化和�(jì)算機(jī)水平的迅速提高,60年代本法在常�(guī)分析上的重要性已充分顯示出來�70年代以后,又按激�(fā)、色散和探測方法的不�,發(fā)展成為X射線光譜法(波長色散)和X射線能譜法(能量色散)兩大分�,兩者的�(yīng)用現(xiàn)已遍及各�(chǎn)�(yè)和科研部門�