銆�銆�SF6鏂疯矾鍣�鏄埄鐢�鍏盁鍖栫～锛圫F6锛夌殑婊呭姬鐗规�э紝灏囧叾浣滅偤绲曠罚浠嬭唱渚嗗伐浣滅殑鏂疯矾鍣�锛岀敤浜庡垎鍚堥瀹氶浕娴併�佹晠闅滈浕娴佹垨杞夋彌绶氳矾锛屽鐝惧皪杓歌畩闆荤郴绲�(t菕ng)鐨勪繚璀�銆佹帶鍒跺強鎿嶄綔锛屽彲浠ラ�茶涓夋サ鍒嗛枠銆佸悎 闁樺強蹇�熻嚜鍕曢噸鍚堥枠鎿嶄綔銆�
銆�銆�1锛庣啊鍠枊鏂凤細灏辨槸瑾�锛岄枊鏂锋檪鍙�氶亷鍕�銆侀潨瑙搁牠涔嬮枔璺濋洟鐨勪笉鏂峰姞闀蜂締闁嬫柗锛屽嵆娌掓湁姘ｅ惞锛屼篃娌掓湁閫氶亷纾佸牬鍔涜畵闆诲姬鍦⊿F6姘ｉ珨閲岄亱鍕曚締鍐峰嵒闆诲姬锛岄�欑ó杈︽硶姣旇純绨″柈锛屾晥鏋滅暥鐒朵笉澶悊鎯�锛岀従鍦ㄦ棭宸蹭笉鐢ㄤ簡锛�
銆�銆�2锛庨洐澹撳紡鍚�?銆傚瑜獌璧烣6鏂疯矾鍣ㄥ収鏈夊叐绋埃澹撶殑SF6姘ｉ珨瀛樺湪锛屼綆澹撶殑SF6姘ｉ珨鍙敤浜庡収閮ㄧ殑绲曠罚锛屼竴鑸偤3鈥�5鍊嬪ぇ姘ｅ锛岄珮澹撶殑SF6姘ｉ珨涓�鑸湁鍗佸咕鍊嬪ぇ姘ｅ锛屽彧鏄湪鍒嗘柗閬庣▼涓�锛屽惞姘ｉ枼鎵嶆墦闁�锛岄珮澹撶殑SF6姘ｉ珨寰為珮澹撳崁(q奴)娴佸悜浣庡鍗�(q奴)锛岀稉瑙搁牠鍣村彛鍚瑰悜闆诲姬锛屼娇闆诲姬鐔勬粎锛涘垎鏂烽亷绋嬬祼鏉熷悗锛屽惞姘ｉ枼闂滈枆锛屾埃鍚归亷绋嬬祼鏉熴�傞�欑óSF6鏂疯矾鍣ㄧ殑鍎�(y艒u)榛炴槸婊呭姬鑳藉姏寮�锛岄枊鏂峰閲忓ぇ锛岄噾灞煭鎺ユ檪闁�銆佸浐鏈夊垎闁樻檪闁撳拰鍏ㄩ枊鏂锋檪闁撻兘姣斿柈澹撳紡鐨勭煭锛涗絾鏄畠鐨勭祼妲嬫瘮杓冨京闆滐紝杓斿姪瑷倷澶�锛屽湪SF6姘ｉ珨鐨勪綆澹撳崁(q奴)鍜岄珮澹撳崁(q奴)涔嬮枔瑕佹湁澹撶府姗熷拰绠￠亾锛屾澶�锛岄珮澹撶殑SF6姘ｉ珨鐨勫鍔涙瘮杓冨ぇ锛屽緢瀹规槗娑插寲锛堝鍦�16鍊嬪ぇ姘ｅ涓�锛孲F6姘ｉ珨鐨勬恫鍖栨韩搴︽槸5鈩冿級锛屽洜姝ら渶瑕佹湁鍔犵啽瑁濈疆銆�
銆�銆�鐡锋煴寮�
銆�銆�闁嬫柗鍏冧欢鏀惧湪绲曠罚鏀煴涓�锛屼娇铏曚簬楂橀浕浣嶇殑瑙搁牠銆佸皫闆婚儴鍒嗗強婊呭姬瀹よ垏鍦伴浕浣嶇禃绶�锛岀禃绶ｆ敮鏌卞墖瀹夎鍦ㄦ帴鍦扮殑鍩哄骇涓�銆傜ū鐐哄娈煎付闆绘柗璺櫒锛屼篃绋变箣鐐虹禃绶ｆ敮鏌卞紡鏂疯矾鍣�銆�
銆�銆�缃愬紡
銆�銆�闁嬫柗鍏冧欢鏀惧湪鎺ュ湴鐨勭娈间腑锛屽叾闁撶殑绲曠罚渚濋潬姘ｉ珨渚嗘壙鎿�锛屽皫闆婚儴鍒嗙稉濂楃寮曞叆锛岀祼妲嬫瘮杓冪┅(w臎n)瀹�锛屽父鍦ㄩ瀹氶浕澹撻珮鐨勯珮澹撳拰瓒呴珮澹撴柗璺櫒涓娇鐢�锛屾姉鍦伴渿鎬ц兘濂斤紝绋辩偤澶栨鎺ュ湴鏂疯矾鍣�(鍙堢ū钀藉湴缃愬紡)
銆�?銆�?锛塖F6姘ｉ珨鐨勫垎瑙ｆ韩搴︼紙2000K锛夋瘮绌烘埃锛堜富瑕佹槸姘埃锛屽垎瑙ｆ韩搴︾磩7000K锛変綆锛岃�岄渶瑕佺殑鍒嗚В鑳� 锛�22.4eV锛夋瘮绌烘埃锛�9.7eV锛夐珮锛屽洜姝ゅ湪鍒嗚В鏅傚惛鏀剁殑鑳介噺澶氾紝灏嶅姬鏌辩殑鍐峰嵒浣滅敤寮�銆傜敱浜庢埃楂斿垎瀛愮殑鍒嗚В锛屽湪鐩告噳鐨勫垎瑙ｆ韩搴︿笂灏卞嚭鐝炬埃楂斿皫鐔辩巼鐨勯珮宄�銆�
銆�?銆�?锛塖F6鍦ㄩ珮婧檪鍒嗚В鍑篠鍘熷瓙銆丗鍘熷瓙鍜屾璨犻洟瀛�锛岃垏鍏朵粬婊呭姬浠嬭唱鐩告瘮锛屾湁杓冨ぇ鐨勬父闆㈠害銆傚湪缍寔鐩稿悓娓搁洟搴︽檪锛屽姬鏌辨韩搴﹀氨杓冧綆銆傚洜姝�锛孲F6姘ｉ珨涓浕寮ч浕澹撲篃杓冧綆锛岀噧寮ф檪鐨勯浕寮ц兘閲忚純灏忥紝灏嶆粎寮ф湁鍒�銆�
銆�?銆�?锛夌敱浜嶴F6鐨勫挤闆昏矤鎬�锛岃兘鍚搁檮闆诲瓙鍜屾闆㈠瓙寰╁悎锛屾晠寰╁悎浣滅敤蹇�锛屽幓娓搁洟浣滅敤寮�銆傚挨鍏跺湪闆绘祦閬庨浂鍓嶅悗锛屽彲浣垮姬闅欎腑甯堕浕绮掑瓙娓涘皯锛屽皫闆荤巼涓嬮檷銆係F6姘ｉ珨闆诲姬鐨勬檪闁撳父鏁镐篃寰堝皬锛岀偤寰绱氭垨鏇村皬锛屽湪闆诲姬闆绘祦閬庨浂鍚�锛屽姬鏌辨韩搴﹀皣鎬ュ妵涓嬮檷锛屽垎瑙ｇ墿鎬ュ妵寰╁悎銆傚洜姝F6寮ч殭鐨勪粙璩挤搴﹀強鍏舵仮寰╅�熷害閮藉緢楂�锛岃兘鑰愬彈寰堥珮鐨勬仮寰╅浕澹撲綔鐢紝闆诲姬鍦ㄩ浕娴侀亷闆跺悗涓嶆槗閲嶇噧銆�
銆�銆�SF6姘ｉ珨涓浕寮х殑鐔勬粎鍘熺悊鑸囩┖姘ｉ浕寮у拰娌逛腑闆诲姬鏄笉鍚岀殑锛屽畠骞朵笉鍍呬緷闈犳埃娴佺瓑鐨勫鍔涙搴︽墍褰㈡垚鐨勭瓑鐔靛喎鍗讳綔鐢�锛岃�屼富瑕佹槸鍒╃敤SF6姘ｉ珨鐗圭暟鐨勭啽鍖栧鎬ц唱鍜屽挤闆昏矤鎬�锛屼娇寰桽F6姘ｉ珨鍏锋湁寰堝挤鐨勬粎寮ц兘鍔涖��銆傚皪浜庢粎寮т締瑾�锛屼緵绲﹀ぇ閲忔柊楫殑SF6涓�у垎瀛愬苟浣夸箣鑸囬浕寮ф帴瑙告槸鏈夋晥鐨勬柟娉�銆�
銆�銆�閬嬭涓殑宸¤妾㈡煡
銆�銆�1锛夋鏌ユ柗璺櫒鐨勫绲曠罚閮ㄥ垎锛堢摲濂楋級鎳夊畬濂�锛岀劇鎼嶅銆佽嚐姹″強闁冪怠鏀鹃浕鐝捐薄锛�
銆�銆�2锛夊皪鐓ф韩搴︹�斿鍔涙洸绶�锛岃瀵熷鍔涜〃锛堟垨甯舵寚绀哄瘑搴︽帶鍒跺櫒锛夋寚绀烘噳鍦ㄨ(gu墨)瀹氱殑鑼冨湇鍏�锛屽苟瀹氭湡瑷橀寗澹撳姏銆佹韩搴﹀�硷紱
銆�銆�3锛夊垎銆佸悎闁樹綅缃寚绀哄櫒鎳夋寚绀烘纰猴紝骞跺垎銆佸悎闁樻噳鍒颁綅锛�
銆�銆�4锛夋暣楂旂穵鍥轰欢鎳夌劇鏉惧嫊銆佽劔钀�锛�
銆�銆�5锛夊劜鑳介浕姗熷強鏂疯矾鍣ㄥ収閮ㄦ噳鐒＄暟甯歌伈闊�锛�
銆�銆�6锛夋柗璺櫒鐨勫垎銆佸悎闁樼窔鍦堟噳鐒＄劍鍛�銆佸啋鐓欏強鐕掑偡鐝捐薄锛�
銆�銆�7锛夋柗璺櫒鎺ュ湴澶栨鎴栨敮鏋舵帴鍦版噳鑹ソ锛�
銆�銆�8锛夋柗璺櫒澶栨鎴栨搷鍕曟妲嬬鎳夊畬鏁淬�佺劇閵硅潟锛�
銆�銆�9锛夋柗璺櫒鍚勪欢鎳夌劇鐮存悕銆佽畩褰�銆侀姽铦曞毚閲嶇瓑鐝捐薄銆�
銆�銆�SF6鏂疯矾鍣ㄧ殑閬嬭缍
銆�銆�1锛夋瘡骞村皪澶栨閵硅潟閮ㄥ垎閫茶闃茶厫铏曠悊鍙婅婕嗭紱
銆�銆�2锛夋噳瀹氭湡灏嶆柗璺櫒杞夊嫊鍙婂偝鍕曢儴浣嶄綔涓�娆℃饯婊戯紙鍗婂勾涓�娆★級锛屽苟鎿嶅嫊3娆℃噳姝ｅ父锛�
銆�銆�3锛夋瘡鍏╁勾涓�娆″皪鏂疯矾鍣ㄦ墍鏈夊瘑灏侀潰瀹氭�ф婕忥紝涓嶆噳鏈�10-6atm.cm3/s浠ヤ笂鐨勬紡榛炲瓨鍦�锛�
銆�銆�4锛夋瘡骞存噳閫茶涓�娆F6姘ｉ珨寰噺姘村垎娓│锛屾脯瑭︾祼鏋滃皪鐓ф按鍒嗏�旀韩搴︽洸绶�锛屼笉鎳夎秴閬�300ppm锛�20鈩冿級锛�
銆�銆�5锛夊叾瀹冮爡鐩紝濡傜禃绶�銆佹搷浣滆│椹楃瓑鍙寜鏈夐棞瑕�(gu墨)瀹氬畾鏈熼�茶锛岃│椹楃祼鏋滄噳绗﹀悎鐩搁棞妯欐簴銆�
銆�銆�6锛夋淇敞鎰忎簨闋�
銆�銆�锛�1锛夋柗璺櫒鍦ㄧ湡绌虹媭鎱�(t脿i)涓嬩笉鍏佽ū閫茶鍒嗗悎鎿嶄綔锛屼互鍏嶆悕澹炴粎寮у闆堕儴浠�锛�
銆�?銆�?锛夋妲嬪湪姝ｅ父妾慨鏅�锛屾噳灏囧垎銆佸悎闁樺綀绨ц兘閲忛噵鏀俱��
銆�銆�1. 鏋剁┖绶氳矾鍜岄浕绾滐細鐣剁敤浜庡垏鏂峰拰淇濊浠ユ灦绌虹窔鐐轰富鐨勯厤闆荤恫鏅�锛岀湡绌烘柗璺櫒鍜� SF6 鏂疯矾鍣ㄥ潎鑳芥豢瓒宠姹�銆�
銆�銆�2. 璁婂鍣細閬╁悎鍒囨柗绌鸿級璁婂鍣ㄧ殑鍕电闆绘祦锛岃�岄亷闆� 澹撳�嶆暩浣庝簬 3.0銆�
銆�銆�3. 闆诲鍣ㄧ祫锛氶仼鐢ㄤ簬闆诲鍣ㄧ祫鐒￠噸鐕冨垏鎻�銆傜暥鎴愮祫鍒囨彌鏅傦紝鍙兘闇�瑕� 瑁濊ō闆绘姉鍣�锛屼互渚挎矕鎿婇浕娴�銆傛柗璺櫒鐨勫悓姝ユ帶鍒舵妧琛撴槸瑙ｆ焙閫欏�嬪晱椤岀殑涓�绋湁鏁堟柟妗�锛� SF6 鏂疯矾鍣ㄩ仼鐢ㄤ簬椤嶅畾闆诲楂樹簬 27 鍗冧紡鐨勫牬鍚堛��
銆�銆�4. 闆诲姬鐖愶細鍒囨彌闆诲姬鐖愮殑鐗归粸鏄搷浣滈牷绻�銆佸ぇ闆绘祦銆佺煭闁撻殧銆傜湡绌烘柗璺櫒鐗瑰垾閬╃敤浜� 閫欑ó鍫村悎銆�
銆�銆�5. 骞惰伅(li谩n)闆绘姉鍣細SF6 鏂疯矾鍣ㄩ仼鐢ㄤ簬鍒囨彌骞惰伅(li谩n)闆绘姉鍣�锛岄�氬父鍏堕亷闆诲鍊嶆暩浣庝簬 2.5銆�
銆�銆�6. 闆绘埃鍖栭惖璺壗寮�
缍韩闆诲瓙閫�锛岄浕瀛愮煡璀�锛屼竴鏌ョ櫨閫�锛�
宸叉敹閷勮姊�162542鍊�
