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微機電系�(tǒng)
閱讀�19266時間�2011-09-19 14:21:48

  微機電系�(tǒng)(Micro Electro-Me-chanical Systems�MEMS)是指可批量制作的,集微型機�(gòu)、微�傳感�、微��(zhí)行器以及信號處理和控制電路、直至接�、通信�電源等于一體的微型器件或系�(tǒng)。MEMS是隨著半導體集成電路微細加工技�(shù)和超精密機械加工技�(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的�

概述

  微機電系�(tǒng)是微米大小的機械系統(tǒng),其中也包括不同形狀的三維平板印刷產(chǎn)生的系統(tǒng)。這些系統(tǒng)的大小一般在微米到毫米之�。在這個大小范圍中日常的物理經(jīng)驗往往不適用。比如由于微機電系統(tǒng)的面積對體積比比一般日常生活中的機械系�(tǒng)要大得多,其表面�(xiàn)象如靜電、潤濕等比體積現(xiàn)象如慣性或熱容量等要重�。它們一般是由類似于生產(chǎn)半導體的技�(shù)如表面微加工、體型微加工等技�(shù)制造的。其中包括更改的硅加工方法如壓延、電�、濕蝕刻、干蝕刻、電火花加工等等�

 

�(fā)展史

  微機電系�(tǒng)是從微傳感器�(fā)展而來�,已有幾次突破性的進展�

  70年代微機械壓力傳感器�(chǎn)品問�

  80年代末研制出硅靜電微馬達

  90年代噴墨打印�,硬盤讀寫頭、硅加速度計和�(shù)字微鏡器件等相繼�(guī)模化生產(chǎn)

  充分展示了微系統(tǒng)技�(shù)及其微系�(tǒng)的巨大應用前�

特點

 ?、俸桶雽w電路相同,使用刻蝕、光刻等制造工�,不需要組�、調(diào)��

  ②進一步可以將機械可動�、電子線路、傳感器等集成到一片硅板上�

 ?、鬯苌僬加玫胤剑梢栽谝话愕臋C器人到不了的狹窄場所或條件惡劣的地方使用�

  ④由于工作部件的�(zhì)量小,高速動作可��

  ⑤由于它的尺寸很�,熱膨脹等的影響��

 ?、匏a(chǎn)生的力和積蓄的能量很小,本質(zhì)上比較安��

�(yōu)�

  �(jīng)濟利益:

  1.大批量的并行制造過程;

  2.系統(tǒng)級集��

  3.封裝集成�

  4.與IC工藝兼容�

  技�(shù)利益�

  1.高精度;

  2.重量�,尺�??�

  3.高效��

  4.材料�(yōu)��

應用

  1、在噴墨打印機里作為壓電元件�

  2、在汽車里作為加速規(guī)來控制碰撞時安全氣囊防護系統(tǒng)的施��

  3、在汽車里作為陀螺來測定汽車傾斜,控制動�(tài)�(wěn)定控制系�(tǒng)�

  4、在輪胎里作為壓力傳感器,在�(yī)學上測量血壓;

  5、數(shù)字微鏡芯片;

  6、在計算機網(wǎng)絡中充當光交換系�(tǒng),這是一個與智能灰塵技�(shù)的融��

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