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半導(dǎo)體磁敏元�
閱讀�4178�(shí)間:2016-07-30 20:34:22

基于霍耳效�(yīng)的半�(dǎo)體磁電轉(zhuǎn)�傳感�。在磁場(chǎng)�(cè)量以及利用磁�(chǎng)作為媒介�(duì)位移、速度、加速度�壓力、角�、角速度、流�、電流、電功率等許多非電量�(cè)量中,半�(dǎo)體磁敏元件是一種重要的器件。磁敏元件分霍耳元件、磁阻元�、磁�二極�、磁�三極�等。主要材料有銻化�、砷化銦、鍺和硅�。這類器件的優(yōu)�(diǎn)是結(jié)�(gòu)�(jiǎn)�,體積小,易于集成化,耐沖�,頻響寬(從直流到微波),動(dòng)�(tài)范圍�,而且可以�(shí)�(xiàn)無接觸檢�(cè),不存在磨損,抗污染,不�(chǎn)生火�,使用安�,壽命長(zhǎng),因此它在測(cè)量技�(shù)、自�(dòng)控制和信息處理等方面有廣泛的�(yīng)��

�(jiǎn)�

基于霍耳效�(yīng)的半�(dǎo)體磁電轉(zhuǎn)�傳感�。在磁場(chǎng)�(cè)量以及利用磁�(chǎng)作為媒介�(duì)位移、速度、加速度、壓�、角�、角速度、流�、電�、電功率等許多非電量�(cè)量中,半�(dǎo)體磁敏元件是一種重要的器件。磁敏元件分霍耳元件、磁阻元�、磁敏二極管、磁敏三極管等。主要材料有銻化�、砷化銦、鍺和硅�。這類器件的優(yōu)�(diǎn)是結(jié)�(gòu)�(jiǎn)�,體積小,易于集成化,耐沖�,頻響寬(從直流到微波),動(dòng)�(tài)范圍�,而且可以�(shí)�(xiàn)無接觸檢�(cè),不存在磨損,抗污染,不�(chǎn)生火�,使用安�,壽命長(zhǎng),因此它在測(cè)量技�(shù)、自�(dòng)控制和信息處理等方面有廣泛的�(yīng)��

各類原件

霍耳元�

霍耳元�  在半�(dǎo)體霍耳片(圖1)的�(zhǎng)度方向通入控制電流I,在平面法線方向外加磁�(chǎng)B,于是電 子在磁場(chǎng)中受洛倫茲�,而向?qū)挾确较蚱疲虼嗽诨舳瑑蓚?cè)分別積累正負(fù)電荷并沿寬度方向�(chǎn)生霍耳電�(chǎng)。這一電場(chǎng)�(duì)電子�(chǎn)生的力阻止電子偏移。當(dāng)電場(chǎng)�fE與洛倫茲�fL相平衡時(shí),霍耳輸出端電荷積累�(dá)到平�,這就是霍耳效�(yīng)。當(dāng)磁感�(yīng)�(qiáng)�B方向與霍耳片平面法線夾角�θ�(shí),霍耳電�V=KIBcosθ,其中K 為霍耳元件靈敏度。當(dāng)載流子為空穴�(shí),它與電子運(yùn)�(dòng)方向相反,而洛倫茲力方向相�,所以產(chǎn)生的霍耳電壓極性相�?;舳饕糜诖艌?chǎng)、轉(zhuǎn)速、微小位�、加速度等的�(cè)�,是放音磁頭、磁接近開關(guān)、同步傳�(dòng)裝置、無刷直流電�(jī)、函�(shù)�(fā)生器、運(yùn)算器、功率計(jì)、調(diào)制器、解�(diào)�、頻譜分�、回�(zhuǎn)器、隔離器中的重要器件� 半導(dǎo)體磁敏元�

霍耳集成電�

霍耳集成電�  利用硅集成電路工藝把霍耳元件和功能線路集成在同一硅片上制成的磁敏器件,分為霍耳開�(guān)集成電路和霍耳線性集成電�。霍耳開�(guān)集成電路由霍耳元�、差分放大器、施密特觸發(fā)器和輸出�(jí)四�(gè)�(huán)節(jié)組成。它可靠性高,工作頻帶寬(從直流到100千赫左右�,溫度性能�,易�(shí)�(xiàn)�(shù)字化,結(jié)�(gòu)�(jiǎn)�,體積小,耐沖�。它可作為無觸點(diǎn)開關(guān),如鍵盤開關(guān),接近開�(guān),行程開�(guān),限位開�(guān)�,可檢測(cè)帶有磁鋼�?qū)Т朋w的物體直線運(yùn)�(dòng)�(shí)的位置和速度,因而能檢測(cè)�(chǎn)品數(shù)量、液�、旋�(zhuǎn)體的角位�、角速度、風(fēng)�、流�,也可用于磁頭編碼�

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