二氧化硅單一組分的特種工�(yè)技術玻�。這種玻璃硬度大可達莫氏七�,具有耐高溫、膨脹系�(shù)�、耐熱震�、化學穩(wěn)定性和電絕緣性能良好,并能透過紫外線和紅外線。除氫氟�、熱磷酸外,對一般酸有較好的耐酸�。按透明度分為透明和不透明兩大類。按純度分為高純、普通和摻雜三類。用水晶,硅石,硅化物為原料,經(jīng)高溫熔化或化學氣相沉積而成。熔制方法有電熔�、氣煉法等�
概述
純度是石英玻璃的重要指標,對理化性能和使用性能影響甚大,如失透�、高�
強度、軟化點、光的傳導、熱�(wěn)定�、化學穩(wěn)定�、耐輻射�、熒光特性等;此�,用于半導體工業(yè)的石英玻�,對純度的要求更為苛�,微量的雜質將給半導體材料的電性能和壽命以及集成度帶來嚴重的影�。由于半導體材料的純度要求控制在ppb�(shù)量級以下,因此石英玻璃則應控制在PPm�(shù)量級以適應半導體工業(yè)的需�。B的分凝系�(shù)近于1,最難除�,是最有害的雜質之一,Cu、Fe、Ti等影響半導體的少子壽�,K、Na、Li是單晶材料產(chǎn)生微缺陷的有害雜��
名稱 |
Al |
Fe |
Ca |
Mg |
Ti |
Cu |
Mn |
Ni |
電熔石英玻璃 |
32 |
2.0 |
1.5 |
1.5 |
2.08 |
0.2 |
0.27 |
0.2 |
氣煉石英玻璃 |
16 |
0.92 |
1.5 |
0.4 |
1.0 |
0.01 |
0.05 |
<0.3 |
電弧石英玻璃 |
10.4 |
0.3 |
0.6 |
0.3 |
1.35 |
0.05 |
<0.05 |
<0.3 |
合成高純石英玻璃 |
0.37 |
0.31 |
0.27 |
0.04 |
0.03 |
0.03 |
0.01 |
<0.03 |
紅外光學石英玻璃 |
35 |
1.45 |
2.68 |
1.32 |
1.06 |
0.22 |
0.07 |
<0.03 |
紫外光學石英玻璃 |
3.9 |
0.4 |
3.5 |
1.2 |
0.45 |
0.1 |
0.02 |
0.06 |
不透明石英玻璃 |
56 |
7.4 |
15.3 |
1.57 |
1.5 |
0.2 |
0.1 |
- |
名稱 |
Pb |
Sn |
Cr |
B |
K |
Na |
Li |
OH- |
電熔石英玻璃 |
0.2 |
<0.3 |
<0.3 |
0.2 |
2.12 |
5.31 |
<0.3 |
5 |
氣煉石英玻璃 |
<0.3 |
<0.3 |
<0.3 |
0.2 |
1.49 |
1.67 |
<0.3 |
400 |
電弧石英玻璃 |
<0.03 |
<0.03 |
<0.03 |
<0.1 |
0.7 |
1.0 |
1.0 |
27 |
合成高純石英玻璃 |
<0.03 |
<0.03 |
<0.03 |
0.3 |
2.2 |
3 |
<0.3 |
5 |
紅外光學石英玻璃 |
<0.03 |
<0.03 |
<0.03 |
0.3 |
2.2 |
3 |
<0.3 |
5 |
紫外光學石英玻璃 |
0.04 |
0.02 |
0.03 |
0.1 |
0.5 |
1.5 |
0.05 |
1200 |
不透明石英玻璃 |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
失透(又叫析晶性)是石英玻璃的一個固有缺�,從熱力學觀點看,石英玻�
的內能高于結晶態(tài)方石�,屬熱力學上不穩(wěn)定的亞穩(wěn)�(tài),當溫度高于1000℃時,SiO2 分子振動加�,經(jīng)一段較長時間的重新排列、定向便形成結晶。失透性是以晶核成長速度來表示的,不透明石英玻璃�1520℃、透明石英玻璃�1620℃析晶速度分別達到��
析晶主要出現(xiàn)在表�,其次是內部缺陷處,原因是這些地方容易沾污,引起雜質離子的局部集聚,特別是堿離子(如K、Na、Li、Ca、Mg等)進入�(wǎng)絡后引起粘度降低,促使失透加��
由于石英玻璃的熱膨脹系數(shù)和比重同析晶�(chǎn)物�-方石英相�,所以在高溫下連續(xù)使用時,盡管析晶區(qū)不斷擴大,但體積變化并不明顯,仍可滿意地繼續(xù)使用,此時尚可減輕玻璃的塑性變�,使耐火度提�。當析晶�(chǎn)物冷卻到800℃時,則出現(xiàn)細小的龜裂網(wǎng)�。繼�(xù)冷卻�200-275℃時,則出現(xiàn)方石英從高溫型到低溫型(即�-方石英→a-方石英)的結構變�,并伴隨著發(fā)生體積聚變,如果析晶層很�,則石英玻璃亦隨之破裂。由于析晶常常出�(xiàn)在有雜質的地�,所以高溫使用前的表面狀�(tài)及周圍耐火材料、氣氛十分重�。有關使用石英玻璃時注意事項后面還要介紹�
溶液名稱 | 濃度(比重) | 溫度/� | 浸蝕時間 小時 |
重量損� g/m2
透明石英玻璃 |
重量損� g/m2
不透明石英玻璃 |
鹽酸 | 1.19 | 60 | 24 | 0.034 | 0.16 |
硝酸 | 1.40 | 115 | 24 | 0.11 | 0.15 |
硫酸 | 1.84 | 205 | 24 | 0.06 | 0.13 |
氫氟� | 38% | 室溫 22 | 2 | 259.39 | 379.80 |
NaOH | 1% | 101 | 2 | 0.80 | 5.15 |
KOH | 1% | 98 | 2 | 0.68 | 4.63 |
氨水 | 25% | 65 | 2 | 0.09 | 0.33 |
NaCl | 10% | 102 | 2 | 0.14 | 0.34 |
Na2CO3 | 10% | 102 | 2 | 1.20 | 4.99 |
石英玻璃的結構十分松�,甚至在高溫下還允許某些氣體的離子通過�(wǎng)絡進行擴散,其中以鈉離子的擴散為最�。石英玻璃的這一性能對于使用者尤為重要,例如,半導體工業(yè)用石英玻璃作為高溫容器或擴散管時,由于半導體材料要求很高的純度,所以要求與石英玻璃接觸的作為爐襯的耐火材料必須預先�(jīng)過高溫和清潔處理,除掉鉀、鈉等堿性雜�,然后才能放入石英玻璃內使用。各種離子在石英玻璃中的擴散系數(shù)見表3
�3 各種離子在石英玻璃中的擴散系�(shù)
透明石英玻璃 合成石英玻璃
Na+ 2×10-4 5×10-5
Ca2+ 2×10-8
Al3+ <10-12 <10-12
Ag+ 10-5 10-7
注:
1.�1100℃下的擴散系�(shù)
2.單位:厘�2/�
在常溫下,可以認為石英玻璃是不透氣�,在高溫(例�700℃)�,某些氣體的透氣常數(shù)也很�。因此可以用在高溫高真空裝備�。石英玻璃的透氣常數(shù)及用石英玻璃作容器連續(xù)抽真空所的真空度見表4、表5.
�4 石英玻璃容器連續(xù)抽真空所獲得的真空度(實驗條件)
種類 真空度(毫米汞柱)及溫度(℃�
20 900
透明石英玻璃 3.7×10-6 7.0×10-6
不透明石英玻璃 1×10-5 7.4×10-6
�5 石英玻璃的透氣常數(shù)K
氣體 透氣常數(shù)K
200� 400� 600� 700� 800� 900� 1000�
� 1.39 6.15 16.4 21.9 28.5 36.2 45.4
� 0.022 0.37 1.43 2.52 4.25 6.40 10.00
氘(重氫� 17
� 2.8 4.2
� <10-15
� <10-15
� <10-15
單位:�10-10厘米3.毫米/�.厘米2乇(在標準壓力下�
�6 石英玻璃的電性能
性能名稱 電性能指標及種�
透明石英玻璃 不透明石英玻璃
耐擊穿電壓(仟伏/毫米� 室溫 >30 >16
500� 11 7.6
介電常數(shù)�106赫) ε=3.7
ε=3.5
介電損耗tgδ(50�/�) 0.0003 0.001
電阻(歐�.厘米� 20� 1×1019 1×1015
500� 3×108 1×107
1000� 1×106 3×104
石英玻璃具有很高的介電強度和極低的導電率,即是在高溫、高壓和高頻�,仍能保持很高的介電強度和電阻,在所應用的頻帶內幾乎沒有介電損�,因此石英玻璃是�(yōu)良的高溫介電絕緣材料�
石英玻璃的光學性能有其獨到之處,它既可以透過遠紫外光�,是所有透紫外材料�,又可透過可見光和近紅外光�。用戶可以根�(jù)需�,從185-3500mμ波段范圍內任意選擇所需品種。由于石英玻璃耐高�,熱膨脹系數(shù)極小,化學熱�(wěn)定性好,氣泡、條�、均勻�、雙折射又可與一般光學玻璃媲�,所以它是在各種惡劣場合下工作具有高�(wěn)定度光學系統(tǒng)的必不可少的光學材料�
石英玻璃的結�,雜質含量,OH基因及NO、CO等含量是影響光譜透過率的主要因素,氧原子結合不良�0.24μ處則有吸收峰,含有OH基團的石英玻�,在2.7μ處由于分子振動將�(chǎn)生明顯的吸收�,紫外透過率低主要是由于金屬雜質多造成原子吸收光譜所致�
石英玻璃的光譜特性曲�
電熔石英玻璃是很好的透紅外材�,但由于雜質的存�,紫外透過率低。氫氧焰熔制水晶所獲得的石英玻璃,由于氧結構缺�,在0.24μ處有吸收峰,同時含有OH基團,所以紅外透過極低。用合成原料氣煉的高純光學石英玻璃是的透紫外材�,但�2.7μ處有嚴重的OH吸收峰。只有用合成原料通過電熔或無氫火焰熔融而成的光學石英玻�,才能很好地透過從遠紫外到近紅外的連續(xù)光譜�
石英玻璃的折射率及光學常�(shù)見表7、表8.
�7 光學石英玻璃的折射率(之一�
波長(毫微米� 水晶熔制石英玻璃 合成石英玻璃
185.41 1.57464 -
193.53 1.56071 -
202.54 1.54729 1.54717
206.20 1.54269 1.54266
213.85 - 1.53434
214.45 1.53385 -
226.50 1.52318 1.52299
232.94 1.51834 -
237.83 - 1.51473
248.20 - 1.50841
250.20 1.50762 -
257.62 1.50397 1.50351
265.36 - 1.49994
274.87 1.49634 -
280.35 - 1.49403
289.36 - 1.49098
298.06 1.48859 1.48837
307.59 - 1.48575
313.17 - 1.48433
328.36 1.48183 -
334.15 - 1.47976
340.36 1.47877 1.47860
346.69 1.47766 1.47748
361.17 1.47513 1.47503
365.48 - 1.47448
398.84 1.47028 -
404.65 - 1.46961
435.83 1.46679 1.46669
486.13 1.46324 1.46314
546.07 1.46021 1.46007
587.56 1.45857 1.45847
656.27 1.45646 1.45637
注:測量誤差:�3×10-5
�7 光學石英玻璃的折射率(之二)
波長λ(微米) 折射� 波長λ(微米) 折射�
0.67 1.456066 1.30 1.446980
0.68 1.455818 1.40 1.445845
0.69 1.455579 1.50 1.444687
0.70 1.455347 1.60 1.443492
0.80 1.453371 1.70 1.442250
0.90 1.451808 1.80 1.440954
1.00 1.450473 1.90 1.439957
1.10 1.440261 2.00 1.438174
1.20 1.448110 2.10 1.436680
2.20 1.435111 2.90 1.421684
2.30 1.433462 3.00 1.41937
2.40 1.431730 3.10 1.41694
2.50 1.429911 3.20 1.41440
2.60 1.428001 3.30 1.41173
2.70 1.425995 3.40 1.40893
2.80 1.423891 3.50 1.40601
�8 石英玻璃的光學常�(shù)
項目 指標及品�
水晶熔制石英玻璃 合成石英玻璃
Nd(He587.56mμ) 1.45857 1.4587
Nf(H486.13mμ) 1.46324 1.46314
Nc(H656.27mμ) 1.45646 1.45637
色散系數(shù) V=(Nd-1)/(Nf-Nc) 67.6 67.7
中部色散: Nf-Nc 0.00678 0.00677
基本資料
石英玻璃的熱膨脹系數(shù)�,為5.5×10-7/�,只有普通玻璃的1/12�1/20.部標準規(guī)定將試樣灼燒�1200℃后急速投到冷水中,反復三次以上不允許炸裂。石英玻璃加入適量鈦元素后還可做成零膨脹系數(shù)的材�,在激光技術、天文和技術中已得到應��
詳細信息
透明石英玻璃的膨脹系�(shù)是溫度的函數(shù)�
α0,t=1/L0 ×(Lt-L0)/t
式中:L0=溫度0℃時的長� Lt=溫度t℃時的長� t=攝氏溫度
石英玻璃的粘度,導熱�、比熱及使用溫度等見�9,10,11,12,13.
�9 石英玻璃的粘度(應變�、退火點、軟化點)與溫度的關�
粘度(lgη,�) 水晶石英玻璃 合成石英玻璃
應變� 14.5 1075℃�25 1025℃�25
退火點 13.0 1140℃�25 1120℃�25
軟化� 7.6 1730℃�40 1600℃�40
加工范圍 5�8 1700�2100� 1600�2000�
�10 石英玻璃的導熱系�(shù)
溫度(�) 導熱系數(shù)�/厘米.�.�
透明石英玻璃 不透明石英玻璃
20 0.00331 0.00297
100 0.00367 0.00345
200 0.00394 0.00386
300 - -
400 0.00447 0.00453
500 - -
600 0.00484 0.00503
700 - -
800 0.00514 0.00534
1000 0.00547 0.00550
1200 0.00581 0.00569
�11 石英玻璃的比�
溫度(�) 比熱(卡/�.℃)
透明石英玻璃 不透明石英玻璃
-250 0.007 -
-100 0.112 -
0 0.168 -
20 0.213 0.205
100 - -
200 0.213 0.205
300 0.220 0.218
400 0.230 0.228
500 0.224 0.237
600 0.240 0.242
700 0.250 0.247
800 0.260 -
1000 0.273 -
1200 - -
�12 石英玻璃的使用溫�
使用狀� 連續(xù)工作溫度 短期工作溫度
水晶熔制石英玻璃 1100� 1300�
合成石英玻璃 950� 1200�
不透明石英玻璃 800� 1000�
�13 石英玻璃與其它材料熱膨脹值的比較�1米長試樣的膨脹值)
材料 0�500℃(mm� 0�1000℃(mm� 熱膨脹值的比較�0�500℃,倍)
石英玻璃 0.27 0.48 1
硬質玻璃 1.8 - 6.7
平板玻璃 5.0 - 18.3
高鋁� 4.0 7.9 14.8
碳化硅材� 2.3 4.5 8.5
� 9.0 - 31.5
炭素� 7.0 14.9 25.9
石英玻璃的機械性能比硬質玻璃和陶瓷都好,唯脆性較差。石英玻璃的理論計算強度很高,約�24×103MPa,但實際測得的強度要比這個數(shù)值低�(shù)十�。影響強度的主要因素首先是玻璃的表面缺陷,特別是表面微裂紋的大小及深度影響最為明�,細磨的石英玻璃試樣比粗磨的試樣,其抗折強度約增�0.6�;其次是內在缺陷,例如,氣泡、雜質、熔化不均以及殘余應力等�
石英玻璃的強度隨著溫度的升高而增�,接近退火溫度時達到值�
石英玻璃的剪切模�、楊氏模�、阻�、泊松比、破壞模量一般均隨著溫度的升高而增�,硬度則隨著溫度的升高而降��
詳細信息
�14 石英玻璃管的破壞壓力
透明石英玻璃� 不透明石英玻璃�
管內徑mm 壁厚mm 破壞壓力 千克/厘米2 管內徑mm 壁厚mm 破壞壓力 千克/厘米2
4 0.5 83 15 2.5 15
5 1.0 150 57 9.0 10
7 2.0 220 80 11.0 13
8 1.0 100 200 13.0 7
9 2.0 190 370 14.0 3
10 1.0 70
�15 石英玻璃的物理機械性能
性能 單位 機械性能
名稱 透明石英玻璃 不透明石英玻璃
密度 �/厘米 3 2.21 2.06-2.184
硬度 莫氏 5-7 5-6
抗壓強度 Mpa 800-1000 413.4-813.0
抗折強度 Mpa 60-70 40-60
抗拉強度 Mpa 49 35
抗沖擊強度公�.厘米/厘米2 1.08 0.85
彈性模�
(楊氏模量)
20� Gpa 77.8 72.5
50� Gpa 82.0 76.0
900� Gpa 85.0 78.3
泊桑�:20� 0.17
剛性率:
20� Gpa 34.1 31.0
500� Gpa 35.8 34.3
900� Gpa 36.9 35.3
縱波聲� �/� 5.72×103
超聲速度:
� �/� 5.95×103
� �/� 3.76×103
超聲阻尼:
� �/厘米2.� 10.09
� �/厘米2.� 8.27
石英玻璃脫羥時間取決于石英玻璃的制備工藝及規(guī)格尺寸、所采用的脫羥氣氛及溫度�
在正常熔制情況即氧化或中性氣氛下如以SiCl4為原�
氫氧焰為熱源高溫水解氣相沉積合成的石英玻璃和以水晶為原料、氫氧焰為熱源煉熔制的石英玻璃中大部分羥基呈�(wěn)定狀�(tài),制品的�(guī)格尺寸大的話,即使脫羥基時間再長也很難將其中的羥基全部脫出。通常0.5~1.0mm厚合成和氣煉石英玻璃片在真空或干燥的N2�1050℃的脫羥條件下,�(jīng)�140h以上方可脫出50%左右的羥�,時間再長幾乎不再脫��
而在富氫的還原性氣氛下熔制的石英玻璃如以H2為保護性氣體的連熔爐熔制的石英玻璃,由于氧缺陷的存�,石英玻璃中的羥基亞�(wěn)狀�(tài),很容易擴散放出H2,如1~1.5mm厚的煉熔石英玻璃管在真空或流動的干燥N2�1050℃的脫羥條件�,經(jīng)�2h即可脫出90%以上的羥��
同樣,若在富氫的還原性氣氛下合成或氣煉的石英玻璃,相同脫羥條�,也可大幅度增加脫羥量�
1.石英玻璃制品是貴重的材料,使用時必須輕拿輕放,十分小��
2.各種石英玻璃都有一個使用溫�,使用時不應超過此溫度,否則會析晶或軟化變形�
3.需高溫使用的石英玻�,使用前必須擦拭干凈??梢�?0%的氫氟酸或洗液浸泡,然后用高純水清洗或酒精處�。操作時應戴細線手套,不允許用手直接觸及石英玻璃�
4.高溫下允許連續(xù)使用石英玻璃制品,這對延長石英玻璃的壽命和提高耐溫性能是有好處的。反�,高溫下間歇使用石英玻璃制品,其使用次數(shù)是有限的�
5.石英玻璃材質雖具有極高的熱穩(wěn)定性,可以�(jīng)受劇烈的溫差驟變。但實際使用時,由于殘余應變和產(chǎn)品形狀不同,熱�(wěn)定性有一定的差別,使用時應加以注��
6.石英玻璃系酸性材料,高溫使用時嚴格避免同堿性物質(如水玻璃、石棉、鉀鈉的化合物等)接�,否則將大大降低其抗結晶性能�
書 名:《石英玻璃�
市場價:�29�
作 者:王玉� 劉連城
出版社:化學工業(yè)出版�
上市日期�2007�1�
開 本:16�
頁 �(shù)�184�
ISBN編號�978-7-5025-9751-1
內容簡介
由于具有一系列�(yōu)越性能,石英玻璃被廣泛用于光源、電子、光通訊、儀�、激�、航天、核技術和國防等領�。本書重點介紹石英玻璃的品種、原材料、制備與加工處理工藝、性能及應�。詳細介紹了不同的天�、合成原料的加工工藝;電�、氣�、合成、等離子、摻雜石英玻璃的不同熔制工藝;石英制品的熱加工、冷加工及熱處理方法;電弧法生產(chǎn)石英坩堝技術;石英玻璃纖維及石英玻璃棉生產(chǎn)技�;石英玻璃各種性能與測試方法及其在不同領域中的應用�
讀者對�
本書可供石英及相關行�(yè)生產(chǎn)、科研人員以及大專院校有關師生閱讀�
前 言
石英玻璃是應用日益廣泛的高新技術材�,如半導體工業(yè)用石英玻璃坩�、新型電光源用石英玻璃玻�、光通訊用石英光導纖�、宇航工�(yè)用耐輻照石英玻璃、高溫環(huán)境下用耐高溫低膨脹石英玻璃��
石英玻璃已成為近代科學技術和�(xiàn)代工�(yè)不可或缺的重要材�。新材料領域的專家們把石英玻璃稱為“玻璃王”,無論從制造的高指標或工藝的復雜�,還是從其應用場合的技術難度和“挑剔”要求來�,石英玻璃堪稱玻璃材料的“皇冠�。石英玻璃技術是近半個世紀隨著電子工業(yè)、光通訊技術和宇航技術的進步而發(fā)展起來的,已�(jīng)成為高新技術材料的一個新學科領域�
中國建筑材料科學研究總院石英與特種玻璃研究所在石英玻璃科學、制造工�、應用技術等方向進行了三十余年的研究開發(fā),為我國的工�(yè)�(xiàn)代化提供了該的技術和材料,石英玻璃的電熔工藝、氣煉工�、化學氣相沉積工藝和等離子化學氣相沉積工藝都在這里誕生�
石英玻璃制造業(yè)界的人士和石英玻璃使用者一直希望能有一本專著作為技術工�,我們應這個要求,集多年的積累編寫了此書,愿能夠對�(yè)內技術人員有所裨益。參加本書編寫的還有王友軍、蘇�、向在奎、隋�、歐陽葆華、呂艷萍、蔡承悌、金小寧、常寶茹、鄧家貴。書中許多內容涉及學科前沿,由于作者水平所�,難免有不當之處,盼望讀者的批評指正�
王玉�
2006�11�15日于北京管莊
目 �
�1章 概述
1.1 石英玻璃的品�
1.2 石英玻璃的性能
1.2.1 力學性能
1.2.2 熱學性能
1.2.3 光學性能
1.2.4 電學性能
1.2.5 化學性能
1.2.6 耐輻照性能
1.3 石英玻璃的應�
�2章 石英玻璃用的原料
2.1 天然水晶和硅石礦�(chǎn)資源分布
2.1.1 天然水晶原料的礦�(chǎn)資源概況
2.1.2 硅石原料的礦�(chǎn)資源概況
2.2 天然水晶和硅石的特性及用�
2.2.1 天然水晶和硅石的特�
2.2.2 天然水晶和硅石的用�
2.3 天然水晶和硅石中的雜�
2.3.1 石英晶體礦物生長過程中賦存雜�
2.3.2 工藝過程污染的雜�
2.3.3 雜質對石英玻璃質量的影響
2.4 天然水晶原料和硅石原料的處理工藝
2.4.1 普通石英玻璃原料生�(chǎn)工藝
2.4.2 天然水晶原料生產(chǎn)工藝
2.4.3 電光源用石英玻璃原料生產(chǎn)工藝
2.4.4 半導體用石英玻璃原料生產(chǎn)工藝
2.5 合成石英玻璃用原�
2.6 硅石原料處理部分工藝過程介紹
2.6.1 選礦
2.6.2 水淬
2.6.3 浮選
2.6.4 酸洗
2.6.5 磁選
2.7 硅石原料部分提純工藝介紹
2.7.1 高溫真空處理
2.7.2 氯化處理
2.7.3 超導�
2.7.4 電選
2.7.5 超聲波處�
2.7.6 摻雜提純
2.7.7 精餾提純
2.7.8 吸附提純
2.7.9 生產(chǎn)�(huán)�
2.7.10 檢驗設備
2.8 美國IOTA�
2.8.1 美國尤尼明公司的礦源
2.8.2 IOTA石英原料
2.8.3 IOTA石英原料中的雜質
2.8.4 IOTA石英原料的品種和質量要求
2.9 結束�
�3章 石英玻璃的溶制工�
3.1 電熔工藝
3.1.1 真空電熔工藝
3.1.2 二步法熔制工�
3.1.3 連續(xù)熔制工藝
3.2 氣煉工藝
3.2.1 粉料氣煉直接制管或透明坩堝
3.2.2 粉料氣煉制砣工藝和裝�
3.2.3 粉料氣煉熱頂成型厚壁管工藝和裝備
3.2.4 粉料氣煉制砣再熱頂成型厚壁管工藝和裝�
3.3 合成石英玻璃制造工�
3.3.1 引言
3.3.2 CVD工藝
3.3.3 VAD合成工藝
3.4 高頻等離子火焰熔制合成石英玻璃砣及粉料厚壁管
3.4.1 高頻等離子體生成原理和設�
3.4.2 立式熔制實心�
3.4.3 臥式熔制厚壁�
3.5 摻雜石英玻璃
3.5.1 摻雜石英玻璃的摻雜方�
3.5.2 摻雜石英玻璃的熔�
3.5.3 摻雜石英玻璃的光譜特�
3.5.4 摻雜石英玻璃的應�
�4章 石英玻璃深加�
4.1 石英玻璃熱加�
4.1.1 燈工二次成型
4.1.2 擴管技�
4.1.3 其他儀器吹制技�
4.1.4 火焰拋光技�
4.2 石英玻璃冷加�
4.2.1 石英玻璃的加工�
4.2.2 金剛石工�
4.2.3 加工機床與工�
4.3 石英玻璃熱處�
4.3.1 均化處理
4.3.2 退火處�
4.3.3 脫羥處理
�5章 電弧法生�(chǎn)石英坩堝技�
5.1 生產(chǎn)原理
5.2 工藝參數(shù)的確�
5.2.1 起弧電壓和電�
5.2.2 電弧電流和電極直�
5.2.3 熔制時間的確�
5.2.4 真空制度的確�
5.2.5 成型棒尺寸的確定
5.3 工藝操作要領
5.3.1 熔制或起弧熔制前注意事項
5.3.2 起弧熔制過程中須做到
5.4 毛坯坩堝的切磨冷加工
5.5 清洗包裝技�
5.6 電弧用石墨電極的質量控制標準
5.6.1 電弧電極
5.6.2 石墨模具
5.7 新技術的采用
5.7.1 坩堝表面的碳酸鋇涂層
5.7.2 噴涂技�
5.7.3 其他新技�
�6章 石英玻璃纖維及石英玻璃棉
6.1 石英玻璃纖維的發(fā)展歷�
6.2 石英玻璃纖維的分�
6.2.1 連續(xù)石英玻璃纖維
6.2.2 石英玻璃�
6.3 石英玻璃纖維的制�
6.3.1 連續(xù)石英玻璃纖維
6.3.2 石英玻璃�
6.4 影響石英玻璃纖維�(chǎn)品質量的因素
6.4.1 原料
6.4.2 石英玻璃�
6.4.3 熔制拉絲
6.4.4 浸潤�
6.5 石英玻璃纖維的性能
6.6 石英玻璃纖維的應�
6.6.1 耐燒蝕材料的增強材料
6.6.2 透波材料的增強材�
6.6.3 高溫隔熱材料
6.6.4 覆箔板的增強材料
�7章 石英玻璃性能及測�
7.1 機械性能
7.1.1 石英玻璃的密�
7.1.2 石英玻璃的抗壓強�
7.1.3 石英玻璃的抗拉強�
7.1.4 石英玻璃的抗彎強�
7.1.5 石英玻璃的彈性模�
7.1.6 石英玻璃的硬�
7.1.7 石英玻璃的泊松比
7.1.8 石英玻璃的剛性模�
7.2 熱學性能
7.2.1 熱膨脹系�(shù)
7.2.2 熱穩(wěn)定�
7.2.3 石英玻璃的比熱容
7.2.4 石英玻璃熱導�
7.2.5 石英玻璃的黏�
7.2.6 石英玻璃軟化�
7.2.7 石英玻璃的應變點
7.2.8 石英玻璃的玻璃化溫度
7.2.9 石英玻璃的析�
7.3 電學性能
7.3.1 電阻�
7.3.2 介電常數(shù)
7.3.3 介電損耗系�(shù)
7.3.4 絕緣強度
7.4 化學性能
7.4.1 溶液
7.4.2 固體物質
7.4.3 氣體和蒸�
7.5 光學性能
7.5.1 光譜曲線
7.5.2 石英玻璃折射�
7.5.3 光學均勻�
7.5.4 應力雙折�
7.5.5 耐輻照�
7.6 轉變�(xiàn)�
7.7 氣體和離子的擴散
�8章 石英玻璃在電光源行業(yè)中的應用
8.1 電光源介�
8.1.1 簡史
8.1.2 電光源的分類
8.1.3 電光源的性能指標
8.2 石英玻璃在電光源方面的應�
8.2.1 石英玻璃電光源主要產(chǎn)�
8.2.2 幾個主要代表性產(chǎn)�
8.2.3 典型電光源的應用場合
�9章 石英玻璃在光纖行�(yè)生產(chǎn)中的應用
9.1 前言
9.2 光纖預制棒和光纖的生�(chǎn)
9.2.1 光纖生產(chǎn)變遷
9.2.2 制棒技術簡�
9.3 石英玻璃在光纖制造中的主要應�
9.3.1 高純石英玻璃基管
9.3.2 高純石英玻璃套管
9.3.3 石英玻璃輔材
�10章 石英玻璃在電子信息、半導體行業(yè)的應�
10.1 引言
10.2 石英玻璃的應�
10.2.1 石英玻璃在半導體行業(yè)的應�
10.2.2 石英玻璃在電子信息產(chǎn)�(yè)的應�
10.2.3 石英玻璃在光學及其他行業(yè)的應�
�11章 石英玻璃在航空航天行�(yè)中的應用
11.1 制作太空天文望遠�
11.2 太空用激光反射鏡
11.3 �(wèi)星及飛船上應�
11.4 太空攝像�
�12章 石英玻璃在其他行�(yè)中的應用
12.1 在雷達上的應�
12.2 在化工行�(yè)中的應用
參考文�
維庫電子�,電子知�,一查百��
已收錄詞�162542�