国产在线中文字幕亚洲,一区视频国产精品观看,欧美日韩国产高清片,久久久久久AV无码免费网站,亚洲无码一二三四五区,日韩无码www.,sese444

您好,歡迎來到維庫電子市場網(wǎng) 登錄 | 免費(fèi)注冊

壓阻式傳感器
閱讀�9113�(shí)間:2010-12-02 13:24:28

      壓阻�傳感�是根�(jù)半導(dǎo)�材料的壓阻效�(yīng)在半�(dǎo)體材料的基片上經(jīng)�(kuò)�電阻而制成的器件。其基片可直接作為測量傳感元�,擴(kuò)散電阻在基片�(nèi)接成電橋形式。當(dāng)基片受到外力作用而產(chǎn)生形變時(shí),各電阻值將�(fā)生變�,電橋就�(huì)�(chǎn)生相�(yīng)的不平衡輸出�

�(jié)�(gòu)

    這種傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,制成硅壓阻芯�,并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之�(nèi),引出電極引�。壓阻式傳感器又稱為固態(tài)壓力傳感�,它不同于粘貼式�(yīng)變計(jì)需通過彈性敏感元件間接感受外力,而是直接通過硅膜片感受被測壓力的。硅膜片的一面是與被測壓力連通的高壓�,另一面是與大氣連通的低壓腔。硅膜片一般設(shè)�(jì)成周邊固支的圓形,直徑與厚度比約�20�60。在圓形硅膜�(N�)定域�(kuò)�4條P雜質(zhì)電阻�,并接成全�,其中兩條位于壓�(yīng)力區(qū),另兩條處于拉應(yīng)力區(qū),相�(duì)于膜片中心對(duì)�。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上�(kuò)散制作電阻條 ,兩條受拉應(yīng)力的電阻條與另兩條受壓應(yīng)力的電阻條構(gòu)成全��

特點(diǎn)

      ①壓阻式傳感器的靈敏系數(shù)比金屬應(yīng)變式壓力傳感器的靈敏度系�(shù)要大50-100倍。有的時(shí)候壓阻式傳感器的輸出不需要放大器就可直接�(jìn)行測��

 ?、谟捎谒捎眉呻娐饭に嚰庸ぃ蚨Y(jié)�(gòu)尺寸�,重量輕�

 ?、蹓毫Ψ直媛矢撸梢詸z測出像血壓那么小的微��

 ?、茴l率響�(yīng)�,它可以測量幾十千赫的脈�(dòng)壓力�

 ?、萦捎趥鞲衅鞯牧γ粼皺z測元件制在同一塊硅片上,所以它工作可靠,綜合精度高,且使用壽命長�

 ?、抻捎诓捎冒�?dǎo)體材料硅制作,傳感器�(duì)溫度比較敏感,如不采用溫度補(bǔ)�,其溫度誤差較大�

�(yīng)�

      壓阻式傳感器廣泛地應(yīng)用于航天、航空、航�、石油化工、動(dòng)力機(jī)�、生物醫(yī)�(xué)工程、氣�、地�(zhì)、地震測量等各�(gè)�(lǐng)�。在航天和航空工�(yè)中壓力是一�(gè)�(guān)鍵參�(shù),�(duì)靜態(tài)和動(dòng)�(tài)壓力,局部壓力和整�(gè)壓力場的測量都要求很高的精度。壓阻式傳感器是用于這方面的較理想的傳感�。例�,用于測量直升飛機(jī)�(jī)翼的氣流壓力分布,測試發(fā)�(dòng)�(jī)�(jìn)氣口的動(dòng)�(tài)畸變、葉柵的脈動(dòng)壓力和機(jī)翼的抖動(dòng)�。在飛機(jī)噴氣�(fā)�(dòng)�(jī)中心壓力的測量中,使用專門�(shè)�(jì)的硅壓力傳感�,其工作溫度達(dá)500℃以上。在波音客機(jī)的大氣數(shù)�(jù)測量系統(tǒng)中采用了精度高達(dá)0.05%的配套硅壓力傳感器。在尺寸縮小的風(fēng)洞模型試�(yàn)中,壓阻式傳感器能密集安裝在�(fēng)洞�(jìn)口處和發(fā)�(dòng)�(jī)�(jìn)氣管道模型中。單�(gè)傳感器直徑僅2.36毫米,固有頻率高�(dá)300千赫,非線性和滯后均為全量程的±0.22�。在生物�(yī)�(xué)方面,壓式傳感器也是理想的檢測工具。已制成�(kuò)散硅膜薄�10微米,外徑�0.5毫米的注射針型壓阻式壓力傳感器和能測量心血管、顱�(nèi)、尿道、子宮和眼球�(nèi)壓力的傳感器。圖3是一種用于測量腦壓的傳感器的�(jié)�(gòu)圖。壓阻式傳感器還有效地應(yīng)用于爆炸壓力和沖擊波的測�、真空測�、監(jiān)測和控制汽車�(fā)�(dòng)�(jī)的性能以及諸如測量槍炮膛內(nèi)壓力、發(fā)射沖擊波等兵器方面的測量。此�,在油井壓力測量、隨鉆測向和測位地下密封電纜故障�(diǎn)的檢測以及流量和液位測量等方面都廣泛�(yīng)用壓式傳感器。隨著微電子技�(shù)和計(jì)算機(jī)的�(jìn)一步發(fā)��壓阻式傳感器的應(yīng)用還將迅速發(fā)��

維庫電子�,電子知�(shí),一查百��

已收錄詞�168731�(gè)