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FBAR
閱讀�19277�(shí)間:2011-04-01 00:30:30

  FBAR,其英文全稱是Film Bulk Acoustic Resonator,也就是薄膜體聲�諧振�。它不同于以前的濾波�,是使用硅底�、借助MEMS技�(shù)以及薄膜技�(shù)而制造出�(lái)�。在�(wú)線收�(fā)器中�(shí)�(xiàn)鏡像消除、寄生濾波和信道選擇等功�,有較高Q值和易實(shí)�(xiàn)微型化等特點(diǎn)�

�(yōu)�(diǎn)

  FBAR具有體積�、工作頻率高、效率高、插入損耗低、帶外抑制大、高Q、大功率容量、低溫度系數(shù)以及良好的抗靜電沖擊能力和半�(dǎo)體工藝兼容性等�(yōu)�(diǎn)。利用FBAR技�(shù)可以制作濾波�、振蕩器、雙工器等多種高性能頻率器件。與�(dāng)前傳�(tǒng)的介�(zhì)濾波器和聲表濾波�(SAW)相關(guān)技�(shù)相比,F(xiàn)BAR技�(shù)能提供更完善的功率處理能力、插入損耗和選擇度特��

�(jié)�(gòu)原理

  FBAR的工作區(qū)由金屬底電極-壓電�-金屬上電極組成,器件工作于能�-厚度振動(dòng)模式,工作頻率與壓電材料的厚度成反比。當(dāng)電信�(hào)加載到FBAR上時(shí),器件中的壓電薄膜通過(guò)逆壓電效�(yīng)將電信號(hào)�(zhuǎn)�?yōu)槁曅�?hào),器件特�(diǎn)的聲�(xué)�(jié)�(gòu)�(duì)不同頻率的聲信號(hào)呈現(xiàn)出選擇性,其中的器件內(nèi)滿足聲波全反射條件的聲信�(hào)將在器件�(nèi)�(shí)�(xiàn)諧振,而不滿足諧振條件的聲信號(hào)就會(huì)衰減,在頻譜上與諧振聲信�(hào)頻率相差越多的聲信號(hào)衰減越快。,在器件內(nèi)幅度相位已產(chǎn)生差異的聲信�(hào)又通過(guò)壓電薄膜等比例地�(zhuǎn)變成輸出電信�(hào),這樣FBAR最終就表現(xiàn)出對(duì)電信�(hào)的選頻作用。FBAR與工作在千赫茲~兆赫茲的晶振中晶體諧振器及陶瓷濾波器中的陶瓷諧振器的工作原理是相同的。不同的是,一方面,F(xiàn)BAR的壓電膜厚度在微米量�(jí),從而使其工作頻率可提高到吉赫茲�(jí)。另一方面,由于壓電膜太薄,使FBAR不可能象晶體諧振器那樣由壓電晶片�(lái)承托上下電極,因此FBAR必須有一�(gè)襯底,加工時(shí)先將金屬底電極蒸�(fā)�?yàn)R射到襯底上,然后在電極上沉積壓電薄膜,再在壓電薄膜上形成金屬上電��  

�(yīng)�

  FBAR的主要應(yīng)用領(lǐng)域有PCS,CDMA和W-CDMA用射頻濾波器,F(xiàn)BAR振蕩器等,在手機(jī)濾波�,雙工器,射頻前端及PGS接收前端模塊已大量使用。當(dāng)今的�(wú)線移�(dòng)�(chǎn)品除了對(duì)體積,省電要求越�(lái)越高之外,頻率資源也越來(lái)越擁�。高性能的FBAR濾波�,應(yīng)用也更加充分�

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