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真空傳感�
閱讀�6877時間�2011-04-26 21:36:16

  真空傳感器是察覺吸著時的真空壓力,以�(shù)值表示真空度� 在設(shè)定了的真空度時發(fā)出輸出(電氣信號)的元件。是工業(yè)實踐中常用的一種壓力傳感器,其廣泛�(yīng)用于各種工業(yè)自控�(huán)�,涉及石油管�、水利水�、鐵路交�、智能建�、生�(chǎn)自控、航空航�、軍�、石�、油�、電力、船�、機�、通風(fēng)管道等眾多行�(yè)。具有原理簡單可�、受�(huán)境影響小、加工工藝成熟簡單易于集成等特點,應(yīng)用前景廣闊�

�(jié)�(gòu)

  真空傳感器由玻璃襯底、下電極、絕緣層、硅膜片� 上電極) 、上層密封用的玻璃組�� 其中下電極濺射在玻璃襯底上, 電極上生長一絕緣�� 硅膜是利用硅片的雙面光刻、擴散和各向異性腐蝕技�(shù)形成的。該電容式真空傳感器有兩個腔�� 其中上面的腔體是一個真空腔� 下面的腔體是鍵合形成�� 這個腔體不是密封的� 腔內(nèi)氣體與外界氣體相通。電容器的兩平板間的距離可由硅片腐蝕的深度控�� 硅膜片與玻璃電極之間的間隙很�� 這也是硅電容式傳感器靈敏度高的原��

工作原理

  真空度是指低于大氣壓力的氣體的稀薄程�,通常以壓力來表示真空度,壓力高意味著真空度低,壓力低意味著真空度�。由于真空傳感器上面的腔體是真空腔體,在大氣壓力�,作為傳感器敏感元件的硅膜片在壓力的作用下會向上鼓起。當(dāng)真空傳感器下面腔體內(nèi)的真空度不同�,硅膜片向上鼓起的程度就不同,硅膜片向上鼓起使得電容兩極板之間的距離�(fā)生變�,根�(jù)平板電容的公式可知電容也隨之�(fā)生化,真空度與電容值是對應(yīng)�,電容值隨著真空度的變化而變�。由于電容值與真空度的�(guān)�,電容值的變化通過測量電路�(zhuǎn)換為電壓或頻率信�,檢測電壓或頻率信號可以得到對應(yīng)的真空度�

技�(shù)指標(biāo)

  1. 測量范圍     1×10-4�1000Torr�1×10-4�1333mbar�1×10-2Pa�133kPa

  2. 解析�       1×10-4 Torr�1×10-4 mbar�1×10-2Pa

  3. 工作溫度     0�50�

  4. 烘烤溫度     150℃(僅限于表,電子元件移除)

  5. 工作濕度     0�95%RH,非冷凝

  6. 安裝方向     水平(建議)

  7. 接液材質(zhì)     鍍金��304 �316 不銹�,玻�,鎳,特氟龍

  8. �(nèi)部容�     26cm3�1.589in3�

  9. �(nèi)部表面面�  59.7cm2�9.25in2�

  10.泄漏�       �1×10-9atm cc/sec He

  11.重量         85g�3oz�

特征

  真空傳感器其特征在于�(shè)有硅尖陣列發(fā)射陰�、金屬陽�、玻璃襯�、發(fā)射腔體和電極引線,金屬陽極濺射在玻璃襯底�,硅尖陣列發(fā)射陰極刻蝕在硅片上,刻蝕有硅尖陣列發(fā)射陰極的硅片與濺射有金屬陽極的玻璃襯底鍵合在一起形成發(fā)射腔��1對電極引線分別接硅尖陣列�(fā)射陰極和金屬陽極,電極引線分別由硅片和陽極金屬引出外接穩(wěn)壓電��

維庫電子�,電子知�,一查百��

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