微型光機電系�(tǒng)的英文縮寫是“MOEMS�,它是微光學、微電子、微機械的結合產生出一類新的應用范圍很廣的器件。MOEMS日益成為新的光學工具,已�(jīng)對許多基于光學的儀器顯示出應用前景�
1959��1965年諾貝爾物理學獎獲得者Richard P Feynman提出微型機械的構��
1962�,硅微型壓力傳感器問世,之后50�500微米的齒�,齒輪泵,氣動渦輪及�(lián)接件等微系統(tǒng)問世�
1966-1972年,基本的微加工技術發(fā)�,制造出微機械元��
1988�,加州大學伯克利分校制造出60-12微米直徑的硅微型靜電��
1980年代,硅微加工技術迅猛發(fā)�,利用犧牲層腐蝕技術獲得了微可動機構�
1、生產中的特�
MOEMS可以實現(xiàn)大批量生甀由于采用了集成電路芯片的生產技�,MOEMS芯片本身的封裝已�(jīng)達到了高度的集成�,其生產成本也大幅度降低�
2、結構上�(yōu)勢與特點
MOEMS的體積非常小,尺寸小至幾微米,大也不過幾毫米;響應速度�100ns�1s的范圍內;其可動結構通常由靜電致動,致動能為CV2�2;其結構可以做到相當復雜,包含元件數(shù)目達�1個~106個�
3、動作上特點
通過精確的驅動和控制,MOEMS中的微光學元件可實現(xiàn)一定程度或范圍的動�,這種動態(tài)的操作包括光波波幅或波長的調整、瞬�(tài)的延�、衍射、反�、折射及簡單的空間自調整。上述任何兩、三種操作的結合,都可以對入射光形成復雜的操�,甚至實�(xiàn)光運算和信號處理�
1.在民用領域的應用� 光通信 �(shù)字圖像獲� 顯示與處� IT外圍設備 �(huán)境保� 自動化生物醫(yī)療裝� 工業(yè)維護 2.在軍事領域的應用� 光束靈活控制(STAB)系�(tǒng) 光學微型�(wǎng)� 超大�(guī)模集成光� 3.在空間的應用� 光通信 光遙�
MOEMS技術發(fā)展的歷史并不�,但這是一項學科交叉性和綜合性都很強,且極具�(fā)�?jié)摿Φ母咝录夹g。隨著微機械加工技術在MOEMS器件中的應用,既可以帶動一些重要的基礎課題研究,又可以帶動大量概念全新的功能部件開�(fā),可以相�,更加成熟的MOEMS器件在不遠的將來會得到更加廣泛的應用�
維庫電子�,電子知�,一查百��
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