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低溫多晶硅
閱讀:20097時間:2011-10-24 09:52:01

  低溫多晶硅 LTPS是Low Temperature Ploy Silicon的縮寫。以低溫多晶硅技術(shù)所制造的。是新一代薄膜電晶體液晶顯示器(TFT-LCD)的制造流程,與傳統(tǒng)非晶矽顯示器差異在於LTPS 反應(yīng)速度較快,且有高亮度、高解析度與低耗電量等優(yōu)點。

工作原理

  低溫多晶硅制程是利用準(zhǔn)分子雷射作為熱源,雷射光經(jīng)過投射系統(tǒng)後,會產(chǎn)生能量均勻分布的雷射光束,投射于非晶矽結(jié)構(gòu)的玻璃基板上,當(dāng)非晶矽結(jié)構(gòu)玻璃基板吸收準(zhǔn)分子雷射的能量后,會轉(zhuǎn)變成為多晶硅結(jié)構(gòu),因整個處理過程都是在600℃以下完成,所以一般玻璃基板皆可適用。

優(yōu)點

  1、 把驅(qū)動IC的外圍電路集成到面板基板上的可行性更強(qiáng);

  2、 反應(yīng)速度更快,外觀尺寸更小,聯(lián)結(jié)和組件更少;

  3、 面板系統(tǒng)設(shè)計更簡單;

  4、 面板的穩(wěn)定性更強(qiáng);

  5、 解析度更高。

技術(shù)特點

  低溫多晶硅技術(shù)主要特點在於改變液晶構(gòu)造以提昇傳統(tǒng)非晶矽液晶技術(shù)性能及降低制造成本。由于LTPS技術(shù)可提升電子遷移率達(dá)200(cm2/V-sec),有利於TFT元件小型化,并提高面板開口率,使得顯示亮度增加、降低耗電率。此外,低溫制程有利于使用玻璃基板,而可大幅降低生產(chǎn)成本。

應(yīng)用

  低溫多晶硅面板主要生產(chǎn)大廠有三洋、東芝、松下、ST-LCD、富士通、Seiko-Epson及Sony等多家國際廠商。目前在攜帶型資訊產(chǎn)品、數(shù)位相機(jī)、監(jiān)視器、投影機(jī)等產(chǎn)品上都可應(yīng)用低溫多晶矽面板。

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