利用熱電�的電�(shì)與加熱元件的溫度有關(guān),元件的溫度又與氣體的熱傳導(dǎo)有關(guān)的原理來(lái)�(cè)量真空度�真空�(jì)�
中文名稱(chēng)�
熱偶真空�(jì)
英文名稱(chēng)�
thermocouple vacuum gauge
定義�
利用加熱電阻絲中心的熱電偶的電動(dòng)�(shì)變化�(lái)表示壓強(qiáng)與溫度關(guān)系的真空�(jì)�
�(yīng)用學(xué)科:
�(jī)械工程(一�(jí)�(xué)科);實(shí)�(yàn)室儀器和裝置(二�(jí)�(xué)科);真空獲得儀器與裝置-真空儀器與裝置(三�(jí)�(xué)科)
利用熱電偶的電勢(shì)與加熱元件的溫度有關(guān),元件的溫度又與氣體的熱傳導(dǎo)有關(guān)的原理來(lái)�(cè)量真空度的真空計(jì)�
熱電偶接在白金或鎢的�(xì)�(xiàn)�。這段�(xì)�(xiàn)通過(guò)電流後會(huì)�(fā)�。發(fā)出的熱量通過(guò)�?chē)鷼怏w分子的熱傳導(dǎo),或細(xì)�(xiàn)本身的固體熱傳導(dǎo),或熱輻射放出。利用氣體分子承�(dān)的熱傳導(dǎo)量與壓力成正比的特點(diǎn)是此真空�(jì)的原��
如果保持�(xì)�(xiàn)的發(fā)熱量即保持一定的電流,則周?chē)鷫毫Ω叩臅r(shí)候氣體奪走的熱量較多,致使�(xì)�(xiàn)的溫度較�。反�(guò)�(lái)�?chē)鷫毫Φ偷臅r(shí)候細(xì)�(xiàn)的溫度會(huì)升高。這種溫度的變化通過(guò)熱電偶檢�(cè)出來(lái),將熱電偶的起電力換成壓力之後即可知真空腔�(nèi)的壓��
利用氣體分子的熱傳導(dǎo)�(xiàn)�,可能�(cè)量的壓力范圍�1~300Pa之間。熱電偶真空�(jì)�(cè)得細(xì)�(xiàn)溫度同時(shí),也受到細(xì)�(xiàn)本身的固體熱傳導(dǎo)和熱輻射放熱的影�。因此精度不�。但是電路簡(jiǎn)�,�(jià)格低��
另外此真空計(jì)在大氣壓狀�(tài)下也不會(huì)燒損。而且�(cè)得的壓力值通過(guò)電信�(hào)被取�,因此在自�(dòng)控制方面容易控制�