具有兩�(gè)(或一�(gè))光學(xué)�(cè)量平面的正圓柱形或長(zhǎng)方形的量�(guī)。光�(xué)�(cè)量平面是表面粗糙度數(shù)值和平面度誤差都極小的玻璃平面,它能夠產(chǎn)生光波干涉條�(�(jiàn)激光測(cè)�(zhǎng)技�(shù))�
具有兩�(gè)(或一�(gè))光�(xué)�(cè)量平面的正圓柱形或長(zhǎng)方形的量�(guī)。光�(xué)�(cè)量平面是表面粗糙度數(shù)值和平面度誤差都極小的玻璃平�,它能夠�(chǎn)生光波干涉條紋(�(jiàn)激光測(cè)�(zhǎng)技�(shù))。平晶有平面平晶和平行平晶兩�。平面平晶用于測(cè)量高光潔表面的平面度誤差,為用平面平晶檢�(yàn)量塊�(cè)量面的平面度誤差。平行平晶的兩�(gè)光學(xué)�(cè)量平面是相互平行的,用于�(cè)�?jī)筛吖鉂嵄砻娴钠叫卸日`�,例如千分尺兩測(cè)量面的平行度誤差.平晶用光�(xué)玻璃�石英玻璃制�。圓柱形平面平晶的直徑通常� 45�150毫米。其光學(xué)�(cè)量平面的平面度誤差為:1�(jí)精度的為0.03�0.05微米�2�(jí)精度的為0.1微米。常�(jiàn)的長(zhǎng)方形平面平晶的有效長(zhǎng)度一般為200毫米�
JJG28-2000
平行平晶是用于以干涉法測(cè)量塊�(guī),以及檢�(yàn)塊規(guī)、量�(guī)、零件密封面、測(cè)�?jī)x器及�(cè) 平晶
量工具量面的研合性和平面度的 常用工具�
適用于光�(xué)加工�、廠礦企�(yè)�(jì)量室、精密加工車(chē)�、閥門(mén)密封面現(xiàn)�(chǎng)檢測(cè)使用,也適用于高等院�、科�(xué)研究等單位做平面度等檢測(cè)�
1、平面平� YDF-1 �(biāo)�(zhǔn)外形尺寸 單位:mm
�(guī)�30 45 60 80 100 150 200 250
直徑30 45 60 80 100 150 200 250
高度15 15 20 20 25 30 40 45 平晶
特殊�(guī)格尺寸平面平�,�(huán)形平面平�,方形平面平晶可定�.
2、平面平晶制成兩種精度: 1�(jí) � 2�(jí)
3、平面平晶工作面的平面度偏差允許值為�
直徑� 30�60mm 1�(jí)平晶 0.03μm
直徑� 30�60mm 2�(jí)平晶 0.1 μm
直徑� 80�150mm 1�(jí)平晶 0.05μm
直徑� 80�150mm 2�(jí)平晶 0.1 μm
更大尺寸平面平晶平面度偏差允許值,根據(jù)�(guó)家標(biāo)�(zhǔn)�
4、平面平晶工作面的局部偏差允許值為� 0.03μm
5、平面平晶測(cè)量工作應(yīng)在室�2 0℃�3℃條件下保持?jǐn)?shù)小時(shí)后�(jìn)行�
平晶是利用光波干涉現(xiàn)象測(cè)量平面度誤差�,故其測(cè)量方法稱(chēng)為平晶干涉法(圖2�,也稱(chēng)技�(shù)光波干涉法。測(cè)量時(shí),把平晶放在被�(cè)表面�,且與被測(cè)表面形成一�(gè)很小的楔� θ,以單色光源照射�(shí)�(huì)�(chǎn)生干涉條紋。干涉條紋的位置與光線的入射角有�(guān)。如入射光線垂直于被�(cè)表面,且平晶與被�(cè)表面間的間隙很小,則由平晶�(cè)量面P反射的光線與被測(cè)表面反射的光線在�(cè)量面 P�(fā)生干涉而出�(xiàn)明或暗的干涉條紋。若在白光下,則出現(xiàn)彩色干涉條紋。如干涉條紋平直,相互平�,且分布均�,則表示被�(cè)表面的平面度很好;如干涉條紋彎曲,則表示平面度不�。其誤差值為f= (v/ω)×(λ/2)
λ為光波波�(zhǎng),白光的平均波長(zhǎng)�0.58μm,ν為干涉帶彎曲�,ω為干涉帶間��